AXUS
Axus Technology bietet fortschrittliche CMP-Werkzeuge und -Technologien sowie außergewöhnliches technisches Know-how für Polieren, Wafer-Reinigung, Präzisionsbearbeitung von Wafern ebenso für ältere, bereits installierte Werkzeuge. Dies macht Axus Technology zu einem der besten hochspezialisierten Technologielieferanten und Servicedienstleister, der sich auf Technisches Know-How und Effizienz bei der Unterstützung des CMP-Marktes konzentriert.

CMP
Crystal Carrier upgrade
Crystal Carrier upgrade ist für ultradünnes und zerbrechliches Wafer-Handling mit 4 Druckzonen konzipiert.
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CMP Generalüberholt
Surface Automatisiertes CMP-System
Automatisiertes Dry In Wet Out (DIWO) 2 Poliertische, ein Carrier CMP System.
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CMP, Nassprozesse
OnTrak DSS-200 Serie 1 Post CMP Scrubber
Voll automatisierter 200mm Wafer POST CMP Scrubber.
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CMP, Nassprozesse
OnTrak DSS200 Serie 2 Post CMP Scrubber
Voll automatisierter 200mm Wafer POST CMP Scrubber.
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CMP, Nassprozesse
OnTrak DSS-200 Synergy™ Post CMP Scrubber
Double-sided PVA Scrubber für 100-200mm Wafers.
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Schleifen/Sägen
Disco DAG810 Schleifmaschine
Kompakter, manuelle Baladung, automatischer Schleifer für Wafer bis 8″ Durchmesser.
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Schleifen/Sägen
Strasbaugh 7AA Schleifmaschine
Manuelle Beladung automatisierter 2 spindle 150 mm Wafer Grinder.
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Schleifen/Sägen
Strasbaugh 7AF Schleifmaschine
Automatischer Kassette zu Kassette high Throughput two-spindle, 2 Grinding Chucks 200mm Grinder.
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Schleifen/Sägen
DISCO DFG 840/841 Schleifmaschine
Kassette zu Kassette zweispindel-, Drei-Dreh-Tisch-Schleifmaschine, die hochwertiges ultradünnes Schleifen ermöglichen.
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Schleifen/Sägen
DISCO DFG8540 Schleifmaschine
Hoher Durchsatz vollautomatischer 200mm Wafer Grinder.
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CMP Generalüberholt
Strasbaugh 6EC CMP
Manuel loading, one spindle one carrier automated compact Dry In Wet Out (DIWO) CMP System.
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CMP
AXUS CMP Foundry-Service
CMP Prozessentwicklung bis hin zum Standardproduktions-Foundry Service.
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Schleifen/Sägen
AXUS Schleiferei- und Gießerei- Service
Backgrinding Prozessentwicklung bis hin zur Standardproduktions-Foundry Service.
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