Automation
Hochgeschwindigkeits-Lagersystem für AMR
für Magazin-Typen 8″ SMIF, 12″ FOUP, Metalrahmen-Magazin,… zur Wafer-Zwischenlagerung
INFOWir bieten automatische Wafer-Handling-Lade-/Entladesysteme sowie automatische Batch-Wafer-Transfersysteme
für Magazin-Typen 8″ SMIF, 12″ FOUP, Metalrahmen-Magazin,… zur Wafer-Zwischenlagerung
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Autonomer Mobiler Roboter für Waferhersteller, Halbleiterfertigung, Kontaktierung (Bumping), Waferprüfung (Probing)…
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für Anwendungsgebiete wie Scheibenproduktion, Halbleiterfertigung (Foundry), Kontaktierung (Bumping), Waferprüfung (Probing)…
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für Magazin-Typen 300 mm FOUP/FOSB, Metal Cassette,… für Wafer-Hersteller, Foundries, Wafer-Bumping, Wafer-Probing
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für Anwendungen wie Wafer-Montage (auf Trägerfolie), CMP, Laserbearbeitung, Sägen, UV-Behandlung, Chip-Handling.
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Elektronisches Regal für AMR (Autonome Mobile Roboter). Effiziente Lagerung von Wafern. Magazin-Typen: 8″ SMIF, 12″ FOUP,...
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für AMR (Autonomer Mobiler Roboter) für Anwendungsbereiche wie AMR-Batterietausch und -Ladung (vollautomatisch).
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150–300 mm Bridge Wafer Sorters mit optionalem Stocker und Inspektions-Modulen
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50–200 mm Open Cassette Wafer Sorter mit optionalem Stocker und Inspektions-Modulen
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