S3 Alliance bietet fortschrittliche Beschichtungsanlagen für PECVD, ALD und Ultraschall-Sprühtechnik, die auf Ihre speziellen Bedürfnisse zugeschnitten sind.
Profitieren Sie von unserem Know-how, unserer Zuverlässigkeit und unseren innovativen Lösungen für Ihre Beschichtungsprozesse.
X-Y-Z-Sprühbeschichtungssystem mit USI’s proprietärer düsenloser Ultra-Thin-Coating-Anwendungstechnologie für F & E-Anforderungen.
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Leistungsstarke X-Y-Z-Bewegungs- und Positionierungsplattform, die für das Aufbringen einer Vielzahl von Beschichtungen entwickelt wurde bis 500mm...
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Leistungsstarke X-Y-Z-Bewegungs- und Positionierungsplattform, die für das Aufbringen einer Vielzahl von Beschichtungen entwickelt wurde bis 800mm...
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Vertikalofen Batch ALD für bis zu 12″ Wafer (Boat mit bis zu 100 Wafern), bis zu...
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Showerhead Thermischer ALD-Reaktor für 4 bis 12″ Wafer, bis zu 500°C (Plasma Prozess verfügbar)
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Nano-Pulverbeschichtung ALD mit 100cc bis 500cc Reaktorvolumen, bis zu 300°C.
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