Product Type:
Equipment
Application:
CMP
Product Description:
Axus Technology bietet innovative CMP-Werkzeuge und -Technologien sowie außergewöhnliches technisches Know-how für Polieren, Wafer Grinding & Wafer Cleaning Equipment und liefert Upgrades und Ersatzteile. Dies macht uns zu einem der besten hochspezialisierten Technologen und Servicedienstleister, der sich auf Engineering-Fähigkeiten und Effizienz bei der Unterstützung des CMP-Marktes konzentriert.
Membranträger sind eine in der Industrie bewährte, weit verbreitete Technologie, die niedrige Verbrauchsmaterialkosten und effiziente Wartung bietet. Von Axus entwickelte Träger können an vorhandenen CMP-Werkzeugen nachgerüstet werden, wodurch die Werkzeugleistung und Zuverlässigkeit, die zur Optimierung der gewünschten Ergebnisse jedes CMP-Waferprozesses erforderlich sind, erheblich verbessert werden.
Der Axus Crystal Carrier ist für ultradünnes und zerbrechliches Wafer-Handling mit allen Vorteilen der 4 Druckzonen des Avalon konzipiert. Mit über 50% weniger Waferauslenkung während der Waferhandhabung als die herkömmlichen 4-Zonen-Carrier ermöglicht der Crystal Carrier eine größere Auswahl an Wafersubstratdicken und Materialien bei gleichzeitiger Reduzierung des Bruchrisikos. Für heterogene Integration, III/V-Materialien und fortschrittliche TGV-Verarbeitung ist der Crystal Carrier der einzige Träger, der diesen Anforderungen gerecht wird. Der Axus Crystal Carrier kann vorzugsweise als Siliziumwaferträger und zum Handling wichtiger Substrate verwendet werden.
Zu den Standardfunktionen gehören:
- Der 4-Druckzonen Crystal Carrier wurde für die Handhabung dünner und zerbrechlicher Wafer (III/V Materialien) entwickelt, um die Ungleichmäßigkeit der Waferkante zu reduzieren.
- Der Crystal Carrier bietet eine deutlich geringere WIW-Ungleichmäßigkeit als die herkömmlichen Träger mit starren Platten.
- Membranträger haben eine große Installationsbasis in der CMP-Industrie:
- Einsatz auf über 1.000 CMP-Werkzeugen für 200mm und 300mm
- Rund 10.000 Köpfe weltweit installiert
There are currently no videos available.
Theres currently no information available for application.