Gemini-3 Dual Slurry-/Reinigungschemie-Zufuhrsystem

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By AXUS

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Product Type:

Equipment


Application:

CMP


Product Description:

Gemini-3 Dual Slurry-/Reinigungschemie-Zufuhrsystem

Das Gemini-3 Dual Slurry-/Reinigungschemie-Zufuhrsystem von Axus Technology ist ein System zum Mischen und Zuführen von ein oder zwei Slurries/Chemikalien, es liefert kontinuierlich zwei präzise gesteuerte CMP-Slurries oder Reinigungschemikalien in einem außergewöhnlich kompakten und wirtschaftlichen Paket. Das System eignet sich hervorragend für ein breites Spektrum an Produktions- und Entwicklungsanwendungen, da es zwei Misch- und Fördertanks für jeden Bestandteil der Mischung verwendet. Die Slurry-/Chemikalienmischung wird aus einem Tank abgegeben, während im zweiten Tank eine neue Charge der Slurry-/Chemikalienmischung zubereitet wird, was eine ununterbrochene, bedarfsgerechte Slurry-/Chemikalienabgabe ermöglicht.

Durch diesen Doppeltank entfällt die Notwendigkeit, große Chargen zu mischen, und die Bedenken hinsichtlich der Topf-Lebensdauer und des Chemikalienmanagements der gelagerten Flüssigkeit werden verringert. Das System umfasst alle erforderlichen Management-Funktionen, einschließlich Befeuchtung, Stickstoffbefüllung und automatisierter Reinigungs- und Spülfähigkeit. Das Gemini-3 Dual Slurry-/Reinigungschemie-Zufuhrsystem von Axus Technology ist insgesamt für eine einfache Wartung von Slurries/Chemikalien ausgelegt und bietet eine schnelle Reinigung und Umstellung der Slurries/Chemikalienarten auf einer außergewöhnlich kompakten Grundfläche von weniger als sechs Quadratmetern.


Zu den Funktionen von Axus Gemini-3 gehören:
  • Magnetschwebende Low-Shear-Pumpen nach Industriestandard sorgen für eine gleichmäßige Förderung neuer Slurry oder Reinigungschemikalie
  • Die benutzerfreundlichen Touchscreen-Steuerungen bieten eine intuitive Benutzeroberfläche für die Mischung und Lieferung sowie Wartung und Wechsel.
  • Das kleine Paket mit großen transparenten Zugangstüren bringt alle kritischen Komponenten in Sicht- und Reichweite, wodurch das System einfach zu warten ist.
  • Preislich günstiger als die meisten automatisierten Slurry-/Reinigungschemie-Zufuhrsysteme.
  • Die perfekte Lösung, die enorme Einsparungen bei Platz, Kapitalinvestitionen und Kosten für Slurry/Chemikalien ermöglicht.
Anforderungen an die Einrichtungen
Technische Daten:
  • Tiefe: 35″ / 890 cm
  • Breite: 39.5″ / 1000 cm
  • Höhe: 79″ / 1980 mm
  • Leistung: 110-240VAC – 50/60Hz
  • Durchfluss: > 0.6GPM – > 5 lpm

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Durch den Doppeltank entfällt die Notwendigkeit, große Chargen zu mischen, und die Bedenken hinsichtlich der Topf-Lebensdauer und des Chemikalienmanagements der gelagerten Flüssigkeit werden verringert.


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