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Beschichtung

Atomic Classic

Thermischer ALD-Reaktor für bis zu 8″-Wafer, bis zu 4550°C.

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Beschichtung

Atomic Premium

Showerhead Thermischer ALD-Reaktor für 4 bis 12″ Wafer, bis zu 500°C (Plasma Prozess verfügbar)

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Beschichtung

Atomic Shell

Nano-Pulverbeschichtung ALD mit 100cc bis 500cc Reaktorvolumen, bis zu 300°C.

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Beschichtung

Atomic Mega

Vertikalofen Batch ALD für bis zu 12″ Wafer (Boat mit bis zu 100 Wafern), bis zu...

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Beschichtung

Atomic Basic

Kompakter thermischer ALD-Reaktor für bis zu 6″-Wafer, bis zu 250°C.

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