Atomic Shell

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By CN1

Supplier Info

Product Type:

Equipment


Application:

ALD


Product Description:

Oberflächenfunktionalisierung und Core-Shell-Partikel

  • Reaktorvolumen: 100 cm³ ~ 500 cm³
  • Filtergröße: Variabel (0,5 µm ~)
  • Reaktorheizung: Max 300 ℃
  • Reaktordrehung mittels geregeltem Gleichstrommotor
  • Rotation speed : 10 ~ 60 rpm


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  • Semiconductor (DRAM, System LSI, etc)
  • Display (AMOLED, Micro-OLED, etc)
  • Photovoltaic (Si base PV & CIGS)
  • MEMS, Sensor, Battery, etc

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