by FEMTO SCIENCE Inc.
Trockenprozesse & UHP
VITA-HVICP
Hochvakuum-ICP-Ätzer mit Load-Lock und Dual-Source-Technologie
INFOFemto Science Inc. aus der Republik Korea wurde 2005 gegründet und verfügt über langjährige Erfahrung in den Bereichen Oberflächenreinigung, Aktivierung, Ätzen, Sterilisation, Verklebung und Beschichtung.
Hochvakuum-ICP-Ätzer mit Load-Lock und Dual-Source-Technologie
INFO
Für 12″-Wafer: Hochpräzise, Patentierte Gasführung, 13,56 MHz RF-Generator und intuitive Touch-Steuerung.
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Für 8″-Wafer, hochpräzise: Patentierte Gasführung, 13,56 MHz RF-Generator und intuitive Touch-Steuerung.
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