Ultraschall Clamp-On Durchfluss­messer SEMIFLOW®

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By SONOTEC

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Product Type:

Metrology & Handling

Application:

Berührungslose Flüssigkeitsmessung

Product Description:

SEMIFLOW DURCHFLUSSMESSER: BESTENS FÜR DIE ANWENDUNG IN DER HALBLEITERINDUSTRIE GEEIGNET

  • Hochpräzise Durchfluss- und Volumenmessung
  • Innovativer berührungsloser Clamp-on Mechanismus zur Vermeidung von Kontamination und Leckagen
  • Kein Anlagenstillstand bei Sensoraustausch oder -nachrüstung
  • Kompakter Sensor mit integrierter Elektronik für ein einfaches Handling
  • Feste Installation oder bei Bedarf schnelles Umsetzen
  • Spezielles Sensorpaket zur Anwendung in explosionsgefährdeten Bereichen der Zone 1 nach ATEX/IECEx

 

Image © SONOTEC GmbH

SEMIFLOW® CO.65 / SEMIFLOW® CO.66 PI EX1 | CLAMP-ON FLOW SENSOR

Exzellente Messleistungen

  • Echtzeitmessung des momentanen Flusses und Volumenzählung
  • Zuverlässige Durchflussmessung bis zu 400 l/min
  • Genauigkeit von +/- 2%

Technische Eigenschaften des Sensors

  • Kunststoffgehäuse (PVC-C) und Kunststoffstoßverbinder (PA)
  • Schraubdeckel und flexibles Inlay für die optimale Kopplung zwischen Schlauch und Messzelle

Plug & Play-Einsatz von Sensor & Schläuchen

  • Integrierte Elektronik und Auswerteeinheit
  • 8 individuelle Sensorgrößen (¼“, 3/8″, ½“, (¾“), 1″, 1.32“, 40A, 50A OD) für eine breite Auswahl an Schlauchgrößen
  • Perfekt geeignet für PFA- und andere harte Kunststoffschläuche und -rohre

Einfache Systemimplementierung

  • Einfache Integration in existierende SPS- und Pumpensysteme über die RS-485 Schnittstelle
  • Optionale C³ Software für einen anwenderfreundlichen Sensorbetrieb und individuelle Einstellungsmöglichkeiten

  • Anlagen zur Waferreinigung
  • Lithografieanlagen
  • Mischanlagen
  • Chemikalienversorgungssysteme
  • Slurry Line

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