Product Type:
Parts & Consumables
Application:
Cleaning Accessories
Product Description:
ScrubPADS® sind patentierte Schleifmittel, die Beseitigung von Rückständen, Rost und Nebenprodukten von Prozess-Tools in der Halbleiterfertigung. ScrubPADS® werden häufig in 200mm- und 300mm-Fabs zur PM- oder Nassreinigung von CVD-, PECVD-, Trockenätz-, PVD- und Ionenimplant-Tools eingesetzt.
- Die große Kornauswahl ermöglicht die schnelle Entfernung von prozessbedingten Rückständen von Aluminium, rostfreiem Stahl, Keramik, Glas, Quarz und eloxierten Oberflächen bei gleichzeitiger Minimierung des Werkzeugverschleißes.
- Die faserfreie Konstruktion der ScrubPADs reduziert die Partikelmenge in den gereinigten Werkzeugen erheblich.
- Durch die Verwendung von gewaschenen Schleifmitteln werden schädliche ionische Rückstände minimiert.
- Einzigartige Klebetechnologie minimiert die Abscheidung von Schleifpartikeln, was zu saubereren PM-Prozessen führt.
| ScrubPADS Diamond Grit 0.78″ Thickness |
ScrubPADS Silicon Carbide (SiC) Grit 0.78″ Thickness |
ScrubPADS Aluminum Oxide (AO) Grit 0.78″ Thickness |
| HT4514D HT4518D HT4522D HT4528D HT4536D HT4536DS HT4540D HT4580D HT4513PDs HT4513PD HT4520PD HT4530PD |
HT4510 HT4510S HT4522 HT4528 HT4528-11 HT4540 HT4540S HT4560 HT4560S HT4580 HT4580-11 HT4512P HT4512PS HT4515P HT4540PD |
HT4580A HT4512PA HT4540PA |
file_downloadsrubpad-datasheet.pdf
Use these for PM or wet clean of your CVD, PECVD, dry etch, PVD and ion implant tools.