Product Type:
Equipment
Application:
Wet Process
Product Description:
NDS 412/408/406 Spin Cleaner bietet:
- Automatische Reinigung mit zerstäubender Reinigungsdüse
- Bühne aus porösem Metall zur Befestigung der Wafer
- reinigungsdauer von 5 bis 999s
- Möglichkeit von 4″ bis 12″ Wafer
- SPS mit Touchpanel zum Einrichten von Rezepten
- Spining-Bereich von 400 bis 2800U/min mit unterschiedlichen Geschwindigkeitsanpassungen
Siehe angehängte Datei für die technische Spezifikation
file_downloadNDS-Auxiliary-Equipment.pdf
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Manual Spin System for R&D cleaning applications