By FOAMTEC
Supplier Info
Product Type:
Parts & Consumables
Application:
Reinigungsmittel
Product Description:
MiraSAT™ IPA 70/30 ist mit 70 % IPA in Halbleiterqualität und 30 % Reinstwasser (UPW) vorgesättigt und enthält Foamtecs branchenführendes MiraWIPE™ Wischtuch mit versiegelten Kanten. Die einzigartige gewebte Mikrofaser benötigt nur 7 ml Flüssigkeit, um gleichmäßig befeuchtet zu werden. Dadurch können durch Schrubben wie beim Reinigen Verunreinigungen entfernt, eingeschlossen und entfernt werden, während der IPA-Verbrauch um mindestens 22% gesenkt wird. Das besonders starke Gewebe und die versiegelte Kante von MiraSAT minimieren das Ablösen von Fasern auch auf strukturierten Oberflächen und sind daher ideal für Reinigungsarbeiten an Geräten geeignet. MiraSAT™ wird in einem ISO 5-Reinraum hergestellt und verarbeitet. Jede Packung enthält 20 MiraSAT™ Wischtücher und ist doppelt verpackt.
Vorteile
- Schützt VOC-empfindliche Fertigungen wie Lithografie, Messtechnik und CVD vor Lösungsmitteldämpfen.
- Das branchenführende abriebfeste Gewebe reduziert das Risiko von Faser- und Partikelausschlägen, die mit Fab-Wischern verbunden sind.
- Gleichmäßige Benetzung des Wischtuchs ermöglicht bereits beim ersten Arbeitsgang exzellente Reinigungsergebnisse und reduziert die Reinigungszeit.
- Eliminiert das Risiko einer Kreuzkontamination durch verschmutzte IPA Flaschen.
- Unübertroffene Abriebbeständigkeit minimiert Kratzer und Partikelabrieb gegenüber herkömmlichen Wischtüchern.
- Die hochmodernen ISO 5-Verarbeitungsanlagen von Foamtec produzieren einen Wischer, der für den Einsatz in den modernsten Waferfabriken optimiert ist.
Vorteile für Umwelt, Gesundheit und Sicherheit:
Die Umweltbedingungen für die Halbleiterindustrie nehmen nur zu:
Durch die Implementierung von MiraSAT ™ können Waferfabriken innerhalb ihrer Luftzulassungsgrenzen bleiben und gleichzeitig die Einhaltung der Umweltvorschriften und die Vermeidung von Kosten schrittweise verbessern.
- Reduzieren Sie die Lagerung von entflammbaren Chemikalien, Lösungsmittelflaschen und die Handhabung von IPA im Reinraum
- Reduzieren Sie flüchtige VOC-Emissionen und die mit der Verwendung von Lösungsmitteln verbundenen Auswirkungen auf die Luftqualtität.
- Verringern Sie bei der Reinigung des Reinraums die Exposition des Personals durch IPA.
HT5790S73
Material: Mikrofaser
Größe: 9″ x 9″
Dichtung: Breite versiegelte Kante
Lösung: 70% IPA und 30% Reinstwasser, 144 ml
Verpackungseinheit: 20 Tücher/Packung und 20 Packungen pro Karton.
Jede Packung ist doppelt verpackt, um den Reinraum-Vorschriften zu entsprechen.
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Foamtecs HPM-Technik
In Kombination mit dem UltraSOLV® ScrubPAD und Schwamm verbessert MiraSAT die Fähigkeit, hartnäckig haftende Verunreinigungen zu lösen, zu binden und zu entfernen. Dadurch wird der Verbrauch von Wischtüchern, die Menge an Gefahrstoffabfällen und die Wartungszeit von Anlagen reduziert.
- Für den Einsatz in Reinräumen der ISO-Klasse 3 und höher.
- Reinigung von Hochvakuum-Prozesskammern und Robotik in der Flachbildschirm- und Waferfertigung.
- Reinigung VOC-empfindlicher Prozessanlagen in Lithografie-, CVD- und Messtechnikmodulen.
- Hervorragend geeignet zur Reinigung von eingebranntem Resist und Entwickler von Lithografiespuren.
- Endreinigung empfindlicher Komponenten wie EFEMs, elektrostatische Chucks, VAT-Ventile und Gasverteilplatten.
- Wartung und Nassreinigung von Anlagen, bei denen VOCs und entzündliche Lösungsmittel vermieden werden müssen.