Product Type:
Parts & Consumables
Application:
Wipers
Product Description:
MiraSAT™ 70/30 ist mit 70 % IPA in Halbleiterqualität und 30 % ultrareinem Wasser (UPW) vorgesättigt und enthält Foamtecs branchenführendes MiraWIPE™ Wischtuch mit versiegelten Kanten. Die einzigartige gewebte Mikrofaser benötigt nur 7 ml Flüssigkeit, um gleichmäßig befeuchtet zu werden, was ermöglicht, Verunreinigungen zu lösen, einzuschließen und zu entfernen, während der IPA-Verbrauch um mindestens 22 % reduziert wird. Das besonders starke Gewebe und die versiegelte Kante von MiraSAT™ minimieren das Ablösen von Fasern, selbst auf strukturierten Oberflächen, was es ideal für die Reinigung von Reinraum-Equipment macht. MiraSAT™ wird in einem ISO 5-Reinraum hergestellt und verarbeitet. Jede Packung enthält 20 MiraSAT™ Wischtücher und ist doppelt verpackt.
Vorteile
- Schützt VOC-empfindliche Fertigungen wie Lithografie, Messtechnik und CVD vor Lösungsmitteldämpfen.
- Gleichmäßige Benetzung des Wischtuchs ermöglicht bereits beim ersten Arbeitsgang exzellente Reinigungsergebnisse und reduziert die Dauer der Reinigung.
- Eliminiert das Risiko einer Kreuzkontamination durch verschmutzte IPA Flaschen.
- Unübertroffene Abriebbeständigkeit minimiert Kratzer und Partikelabrieb gegenüber herkömmlichen Wischtüchern.
- Reduzieren Sie die Lagerung von entflammbaren Chemikalien, Lösungsmittelflaschen und die Handhabung von IPA im Reinraum.
- Reduzieren Sie flüchtige VOC-Emissionen und die mit der Verwendung von Lösungsmitteln verbundenen Auswirkungen auf die Luftqualtität.
- Verringern Sie bei der Reinigung des Reinraums die Exposition des Personals durch IPA.
HT5790S73
Material: Microfiber
Size: 9″ x 9″
Seal: Wide Sealed Edge
Solution: 70% IPA & 30% Ultrapure Water, 144mL
Packaging: 20 Wipers/Bag – 20 Bags/Case, Each pack is double bagged to aid cleanroom entry protocols.
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Foamtec’s HPM Technique
Combined with the UltraSOLV® ScrubPAD and Sponge, MiraSAT’s capabilities to dislodge, entrap and remove stubbornly adhered contamination reduces wiper usage, hazardous waste and equipment recovery time.
• For use in ISO Class 3 and higher cleanrooms.
• Cleaning of hi-vac process chambers and robotics in flat panel display and wafer fabs.
• Cleaning VOC sensitive process equipment in lithography, CVD and metrology modules.
• Cleaning baked-on resist and developer from lithography tracks.
• Final wipedown of sensitive components such as EFEM’s, electrostatic chucks, VAT valves and gas dispersion plates.
• Equipment PM’s and wet cleans where the elimination of VOC’s and flammable solvents are required.