Product Type:
Equipment
Application:
Integrated IPA Drying
Product Description:
MEIs Marangoni Trockner ist eine Option für die Nassbänke von MEI.
Der Genesis Marangoni-Trockner von MEI ermöglicht das Trocknen, Reinigen und Spülen von ICs, Solarzellen, Brennstoffzellen und MEMS innerhalb einer Prozesskammer. Der gesamte Prozess wird von der MEI-eigenen Software IDX Process Control überwacht und gesteuert.
- geringerer Stickstoffverbrauch
- Dry In – Dry Out
- kein Handling von nassen Wafern
- chemische Reinigung des Oxids ohne Luftkontakt
- einfache Marangoni-Trockner-Konstruktion
- Hydrophobe oder hydrophile Oberflächen
- Ideal zum Trocknen dünner Wafer in Teflon Kassetten
- ein Zyklus dauert 7-20 Minuten, abhängig vom Prozess
- keine Schädigung des Photoresist
- Spülung mittels HF-, HCl- und DIO3 erzeugt hochwertige saubere Oberflächen
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