Evolution Immersion Wet Bench

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By MEI / RENA

Supplier Info

Product Type:

Equipment


Application:

Wet Process


Product Description:

Die MEI Evolution Wet Bench ist eine vollautomatische konfigurierbare inline Nassbank, die Ihnen einen hohen Durchsatz bei niedrigen Kosten bietet.

Die wartungsfreundliche Dry to Dry Wet Bench eignet sich für verschiedene Wafercleaning, Etch und Strip Prozesse. Zahlreiche Optionen ermöglichen Ihnen, das Tool ganz auf Ihre Bedürfnisse anzupassen.


  • 150mm, 200mm Wafer
  • Beladung mittels SMIF oder Kassetten
  • Reinraum Klasse 1 kompatibel
  • die Bäder können mit Systemen zur Beheizung, Kühlung und Trocknung ausgestattet werden
  • Ultraschallbäder
  • Chemisches Spiking, Rezirkulation und Filtration
  • Wafer Carrier und Queue-Pass-on-Kassettenoptionen
  • HEPA-Filter
  • SECS/GEM-kompatibel
  • Automatische oder manuelle Türen
  • freie Materialwahl, FM4910 (Halar, CPVC, PVDF) oder Polypropylen oder Edelstahl
  • SEMI S2-0703 Evaluierungsaudits von Drittanbietern und FM-zertifizierte Systeme
  • UL gelistet 508A Panel Shop

file_downloadEvolution-2015.pdf
file_downloadIDX-2015.pdf

They are designed for dry in and dry out multiple lot batch wafer processing for wafer sizes 100mm to 300mm, within a Class 1 Environment. Running under IDX Flexware control, the Evolution is SECS/GEM compliant.Semiconductor, GaAs, solar cell, IC, Medical and MEMS


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