Autosamdri®-815B, Serie B

Product Type:

Equipment

Application:

CPD: Critical Point Dryer

Product Description:

• Verarbeitung von bis zu 5 x 4″ Wafer
• Automatischer überkritischer Punkttrockner
• Minimale Anforderungen an das Versorgungsunternehmen
• Filtration bis auf 0.08µm
• Hergestellt in den USA.

• Die Mikroprozessorsteuerung ermöglicht eine vollständige automatische Verarbeitung. *
• Alle Innenflächen sind mit CO2 und ultrareinen Alkoholen ausgestattet *
• Wiederholbare Betriebsparameter gewährleisten die Reproduzierbarkeit der Ergebnisse. *
• Integrierte Temperaturregelung. *
• Interne Berstscheibe zur Sicherheit eingebaut. * *
• Verarbeitet Wafer mit bis zu 5 x 4 „Durchmesser pro Lauf; wird mit zusätzlichen HF-kompatiblen Waferhaltern geliefert, um Wafer mit 5 x 3“, 5 x 2 „Durchmesser oder 5 x 10 mm quadratischen Chip zu verarbeiten (Tousimis HF-kompatible Waferhalter * können verwendet werden) transportieren und verarbeiten die Wafer und gehen kaputt an HF).
• Alle elektronischen Komponenten erfüllen die CE-, UL- und / oder US-Militärspezifikationen.
• Statisches Druckregelmodul voreingestellt für automatische sichere Druckstabilität.
• Das interne 0,08-µm-Filtersystem liefert sauber gefiltertes LCO2 an die Prozesskammer. * *
• Das interne 0,08-µm-Filtersystem wird sauber gefiltertes LCO2 und die Prozesskammer. * *
• Ein effizientes adiabatisches Kühlsystem *, das die Kammer in weniger als 3 Minuten von Raumtemperatur auf nahe 0 ° C kühlen kann und die Temperatur sowohl im FILL- als auch im PURGE-Modus automatisch aufrechterhält. *
• LEDs zeigen sofort den Prozessmodus auf einen Blick an. *
• Statisch freies Reinraum-kompatible Design.
• Für zusätzliche Sicherheit und Bequemlichkeit fängt der US-patentierte SOTER ™ -Kondensator * Abgase und Alkohole leise ein.
• Einzigartige Kammereinsätze * ermöglichen die Varianz der Kammer-ID. Dies maximiert die Effizienz des LCO2-Verbrauchs und der Verarbeitungszeit.