Autosamdri®-815, Series B

Product Type:

Equipment

Application:

CPD: Critical Point Dryer

Product Description:

• Verarbeiten Sie bis zu 5 x 1″ Wafer.
• Automatischer Supercritical Point Dryer
• Minimale Anforderungen an das Versorgungsunternehmen
• Filtration bis auf 0.08µm
• Hergestellt in den USA

• Der Mikroprozessor * – Controller ermöglicht eine vollständige automatische Verarbeitung.
• Elektromagnetische Ventile und Dichtungen inert gegen LCO2, Alkohole und Aceton.
• Innenflächen inert gegenüber CO2, ultrareinen Alkoholen und Aceton.
• Wiederholbare Betriebsparameter gewährleisten die Reproduzierbarkeit der Ergebnisse.
• Verarbeiten Sie bei jedem Lauf Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 5 x 10 mm oder Wafern mit einem Durchmesser von 5 x 1 „! (Tousimis HF-kompatible Wafer / Die-Halter * werden zum Transport und zur Verarbeitung Ihrer MEMS-Geräte verwendet, um die Handhabung zu minimieren.)
• Integrierte Temperaturregelung. *
• Interne Berstscheibe zur Sicherheit eingebaut.
• LEDs zeigen sofort den Prozessmodus auf einen Blick an. *
• Statisch freies Reinraum-kompatible Design.
• Komplette fortschrittliche zuverlässige Festkörperelektronik.
• Effizientes adiabatisches Kühlsystem *; Prozesskammer in weniger als 90 Sekunden von Raumtemperatur auf Betriebstemperatur abkühlen lassen!
• Alle elektronischen Komponenten erfüllen die CE-, UL- und / oder US-Militärspezifikationen.
• Statisches Druckregelmodul voreingestellt für automatische sichere Druckstabilität.
• Das interne 0,08-µm-Filtersystem liefert sauber gefiltertes LCO2 an die Prozesskammer. * *
• Das interne 0,08-µm-Filtersystem wird sauber gefiltertes LCO2 und die Prozesskammer. * *
• Messgeräte mit Noniusgriff ermöglichen eine wiederholbare präzise Durchflussregelung.
• Der SOTER ™ -Kondensator * wird an Autosamdri®-815, Serie B angeschlossen (der SOTER ™ -Kondensator trennt Alkoholabfälle leise vom CO2-Abgas).