FOUP AMR

Produkttyp:

Metrology & Handling

Anwendung:

Automation

Produktbeschreibung:

AMR für 300 mm FOUP

Der FOUP AMR ist eine hochentwickelte Automatisierungslösung für den sicheren und effizienten Transport in der Halbleiterfertigung. Mit einer Kapazität von bis zu 4 FOUPs eignet er sich optimal für den Einsatz bei Wafer-Herstellern, Foundries sowie in Prozessen wie Wafer-Bumping und Wafer-Probing. Er ermöglicht einen stabilen, durchgängigen Materialfluss und unterstützt damit eine maximale Auslastung moderner Fertigungslinien.

Dank seiner intelligenten Systemarchitektur kombiniert der AMR präzise Navigation mit hochgenauer Handhabung und umfassender Schnittstellenintegration. Dadurch wird selbst in komplexen Produktionsumgebungen eine zuverlässige, sichere und reproduzierbare Logistik gewährleistet.

Kapazität: 4 FOUPs
Anwendungsbereiche: Wafer-Hersteller, Foundries, Wafer-Bumping, Wafer-Probing

Ihr Mehrwert auf einen Blick:

• Keine Totzonen bei der Navigationspositionierung und Sicherheitserkennung
• Sekundäres Positionierungssystem mit omnidirektionalen Rädern und visueller Präzisionsausrichtung
• Roboterarm mit 2,5D-Bildverarbeitung – Kalibrierung der Koordinaten mit 6 freien Gradienten
• 6-achsiger kollaborativer Roboter mit Zertifizierung nach ISO 10218-1 und ISO 15066
• Zertifiziert nach SEMI S2, S8, S10, S13, S14, S17 und S22
• Unterstützung für LF-RFID, UHF-RFID und Barcode-Leser
• Unterstützung des E84-SEMI-Standards
• Unterstützung von SEMI SECS/GEM (GEM300-Reporting)