DXB 880 Wafer Bonder

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By Millice

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Product Type:

Equipment


Application:

Anderes Equipment


Product Description:

Der DXB 880 Wafer Bonder ist ein kompakter, vollautomatischer Tisch-Wafer-Bonder, der für blasenfreies Bonden entwickelt wurde.
Klein genug, um auf die meisten Labortische zu passen, bietet er eine einfache Einrichtung, intuitive Steuerung und kurze Zykluszeiten – ideal für Labore, die zuverlässiges, reproduzierbares Bonden ohne sperrige Geräte benötigen.

 

Hauptmerkmale:

  • Tischgerät – passt problemlos in die meisten Labore
  • Programmierbare Temperatur, Druck und Zeit für jeden Prozessschritt
  • Echtzeit-Anzeige des Bondstatus
  • Rezepte können gespeichert und mit Passwort geschützt werden
  • Schnelle Einrichtung und benutzerfreundliche Bedienoberfläche
  • Zweikammer-Vakuumsystem für blasenfreies Bonden
  • Aktive Kühlung: Abkühlung von 180 °C auf 40 °C in 6–10 Minuten
  • Für Wafer bis zu 11,25″ Durchmesser geeignet
  • Verfügbar in 120 V AC- und 240 V AC-Einphasen-Ausführungen

 


DXB 880 Serie DXB-880-01 DXB-880-02
Größe der Klebekammer 11″ (279 mm) Durchmesser 11″ (279 mm) Durchmesser
Temperaturbereich 100 – 356° F (40 – 180° C) 100 – 356° F (40 – 180° C)
Zykluszeitbereich 1 min – 10 h 1 min – 10 h
Elektrischer Anschluss 100/120 VAC 10 Ampere, 50/60 Hz 220/240 VAC 5 Ampere, 50/60 Hz
Vakuum erforderlich 18 – 25 inHg 18 – 25 inHg
Kühlmittel Wasser (12 Liter pro Minute, 40 PSI) Wasser (12 Liter pro Minute, 40 PSI)
Umgebung 15 – 27 ° C (60 – 80 ° F);
0 – 95% Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend)
15 – 27 ° C (60 – 80 ° F);
0 – 95% Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend)
Dimensionen Höhe: 26″ (200 mm);
Breite: 14,7″ (375 mm);
Tiefe: 21,2″ (440 mm);
Spannfutter: 11,25″ (285 mm)
Höhe: 26″ (200 mm);
Breite: 14,7″ (375 mm);
Tiefe: 21,2″ (440 mm);
Spannfutter: 11,25″ (285 mm)

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  • Wafer-Dünnen
  • Wafer Lapping
  • Metallbeschichtung
  • Wafer-Polieren
  • Wafer-Sägen
  • Trockenätzen (DRIE)
  • Alle weiteren temporären Wafer-Bonding-Prozesse



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