AMR für SMIF-Pods und Wafer-Boxen

Produkttyp:

Metrology & Handling

Anwendung:

Automation

Produktbeschreibung:

Der AMR für SMIF-Pods und Wafer-Boxen ist eine hochpräzise und effiziente Lösung für die automatisierte Materiallogistik in der Halbleiterfertigung. Entwickelt für maximale Prozesssicherheit und zuverlässige Performance, kombiniert dieses autonome mobile Robotersystem modernste Navigationstechnologie mit der sicheren Handhabung sensibler Carrier.

Mit einer Kapazität von bis zu 8 Pods/Boxen eignet sich der AMR ideal für den Einsatz bei Wafer-Herstellern, Foundries sowie in Prozessen wie Wafer-Bumping und Wafer-Probing. Er sorgt für einen stabilen und durchgängigen Materialfluss und trägt so zur Optimierung von Durchsatz und Anlagenverfügbarkeit bei.

Ein zentrales Merkmal ist die lückenlose Navigations- und Sicherheitstechnologie: Es entstehen keinerlei Totzonen bei der Navigationspositionierung und Sicherheitserkennung. Ergänzt wird dies durch ein sekundäres Positionierungssystem mit omnidirektionalen Rädern und visueller Präzisionsausrichtung, das auch in komplexen Layouts höchste Genauigkeit ermöglicht.

Für präzises Handling sorgt ein integrierter Roboterarm mit 2,5D-Bildverarbeitung, der eine exakte Kalibrierung der Koordinaten mit 6 freien Gradienten ermöglicht. Der eingesetzte 6-achsige kollaborative Roboter, zertifiziert nach ISO 10218-1 und ISO 15066, gewährleistet höchste Sicherheit im Zusammenspiel von Mensch und Maschine.

Darüber hinaus erfüllt das System zentrale Industriestandards mit Zertifizierungen nach SEMI S2, S8, S10, S13, S14, S17 und S22 und unterstützt LF-RFID, UHF-RFID und Barcode-Leser sowie den E84-SEMI-Standard und SEMI SECS/GEM (GEM300-Reporting). Dadurch lässt sich der AMR nahtlos in moderne, hochautomatisierte Fertigungsumgebungen integrieren.

Kapazität: 8 Pods / Boxen
Anwendungsbereiche: Wafer-Hersteller, Foundries, Wafer-Bumping, Wafer-Probing

Merkmale:

• Keine Totzonen bei der Navigationspositionierung und Sicherheitserkennung
• Sekundäres Positionierungssystem mit omnidirektionalen Rädern und visueller Präzisionsausrichtung
• Roboterarm mit 2,5D-Bildverarbeitung – Kalibrierung der Koordinaten mit 6 freien Gradienten
• 6-achsiger kollaborativer Roboter mit Zertifizierung nach ISO 10218-1 und ISO 15066
• Zertifiziert nach SEMI S2, S8, S10, S13, S14, S17 und S22
• Unterstützung für LF-RFID, UHF-RFID und Barcode-Leser
• Unterstützung des E84-SEMI-Standards
• Unterstützung von SEMI SECS/GEM (GEM300-Reporting)