AMR für offene Waferkassetten

Produkttyp:

Metrology & Handling

Anwendung:

Automation

Produktbeschreibung:

Autonomer Mobiler Roboter für offene Waferkassetten

Der AMR für offene Waferkassetten ist die intelligente Lösung für eine hochpräzise und automatisierte Materiallogistik in der Halbleiterfertigung. Entwickelt für maximale Effizienz und Prozesssicherheit, kombiniert dieses autonome mobile Robotersystem modernste Navigationstechnologie mit der schonenden Handhabung sensibler Wafer in offenen Kassetten.

Mit einer Kapazität von bis zu 4 offenen Kassetten eignet sich der AMR ideal für den Einsatz bei Wafer-Herstellern, Foundries sowie in Prozessen wie Wafer-Bumping und Wafer-Probing. Er gewährleistet einen stabilen und durchgängigen Materialfluss zwischen den einzelnen Prozessschritten und trägt so zur Optimierung von Durchsatz und Anlagenverfügbarkeit bei.

Ein herausragendes Merkmal ist die lückenlose Navigations- und Sicherheitstechnologie: Dank moderner Sensorik entstehen keinerlei Totzonen bei der Navigationspositionierung und Sicherheitserkennung. Ergänzt wird dies durch ein sekundäres Positionierungssystem mit omnidirektionalen Rädern und visueller Präzisionsausrichtung, das auch in komplexen Produktionsumgebungen höchste Genauigkeit ermöglicht.

Für maximale Präzision in der Handhabung sorgt ein integrierter Roboterarm mit 2,5D-Bildverarbeitung, der eine exakte Kalibrierung der Koordinaten mit 6 freien Gradienten erlaubt. Selbst anspruchsvolle Greif- und Platzierungsaufgaben werden zuverlässig und wiederholgenau ausgeführt.

Der eingesetzte 6-achsige kollaborative Roboter, zertifiziert nach ISO 10218-1 und ISO 15066, gewährleistet höchste Sicherheitsstandards im Zusammenspiel mit dem Menschen und ist ideal für flexible Produktionskonzepte.

Kapazität: 4 offene Kassetten
Anwendungsbereiche: Wafer-Hersteller, Foundries, Wafer-Bumping, Wafer-Probing

Merkmale:

• Keine Totzonen bei der Navigationspositionierung und Sicherheitserkennung
• Sekundäres Positionierungssystem mit omnidirektionalen Rädern und visueller Präzisionsausrichtung
• Roboterarm mit 2,5D-Bildverarbeitung – Kalibrierung der Koordinaten mit 6 freien Gradienten
• 6-achsiger kollaborativer Roboter mit Zertifizierung nach ISO 10218-1 und ISO 15066
• Zertifiziert nach SEMI S2, S8, S10, S13, S14, S17 und S22
• Unterstützung für LF-RFID, UHF-RFID und Barcode-Leser
• Unterstützung des E84-SEMI-Standards
• Unterstützung von SEMI SECS/GEM (GEM300-Reporting)