By FEMTO SCIENCE Inc.
Supplier Info
Produkttyp:
Equipment
Anwendung:
Trockenprozesse & UHP
Produktbeschreibung:
| Dual-Power Plasmaquelle: | RIE (600W) mit leistungsstarker ICP-Quelle (bis 1000W) für die unabhängige Steuerung von Ionendichte und -energie. |
| Integriertes Load-Lock System: | Manuelles Beladen mit automatisiertem 1-Achsen-Transferroboter für hohe Prozessstabilität und Zeitersparnis. |
| Anisotropes Ätz-Design: | Vertikale Kammeranordnung, speziell optimiert für ionendominiertes Ätzen und extrem steile Flankenprofile. |
| Effiziente Substratkühlung: | Helium-Rückseitenkühlung mit mechanischem Clamp sorgt für optimale Temperaturkontrolle während des Ätzprozesses. |
| Korrosionsbeständige Monoblock-Kammer: | Massive Aluminiumbauweise ohne Schweißnähte, speziell behandelt für Prozesse mit aggressiven Gasen. |
| Umfassende Vakuum-Sensorik: | Kombinierte Druckmessung durch Ionen-, Konvektions- und Baratron-Gauges für lückenlose Überwachung. |
| Hochpräzise Gasführung: | Patentierte 3-Stufen-Showerheads und Platz für bis zu 12 MFC-Gaskanäle mit 1/4″ VCR-Verschraubungen. |
| Modernste Industriesteuerung: | Hochleistungsrechner mit EtherCAT-IO-Modulen für maximale Zuverlässigkeit und Echtzeit-Monitoring. |
| Smart User Interface: | Vollautomatischer Betrieb, grafische Prozessanalyse und Remote-Zugriff für Wartung und Fernsteuerung. |
| Rezeptmanagement: | KI-gestützt |
High-vacuum ICP-RIE
| Ätzmodus | High-Vacuum ICP-RIE (Inductively Coupled Plasma) |
| Kammer-Design | Vertikaler Typ, Monoblock-Aluminium (nicht geschweißt), korrosionsbeständig beschichtet. |
| Prozessführung | Patentierte 3-Stufen-Gas-Showerheads für homogene Verteilung |
| Load-Lock Modul | Manueller Wafer-Einschub mit automatisiertem 1-Achsen-Transferroboter |
| ICP-Quelle | 13,56 MHz, Leistung bis zu 1000 W |
| Bias-Quelle | 13,56 MHz / 12,56 MHz, Leistung bis zu 600 W |
| Substrat-Handling | Keramikgeführter Chuck mit mechanischem Clamp & Helium-Rückseitenkühlung |
| Gas-Management | Bis zu 12 MFC-Gaskanäle, chloridgas-kompatibel, 1/4″ VCR-Fittings |
| Vakuum-System | Kombinierte Sensorik (Ionen-/Konvektion-/Baratron-Gauge) inkl. Adapted Pressure Control |
| Steuerung | Industrie-PC mit EtherCAT-IO, Remote-Zugriff & Passwort-Ebenen |
| Systemmaße | 1.800 x 800 x 1.750 mm (B x T x H) |
file_downloadfemto-science-vita-series.pdf
- Verbindungshalbleiter
- Fehleranalyse
- Forschung und Entwicklung (F&E)
- Pilotlinie (oder Vorserienfertigung)