R2D Automation verfügt über mehr als 20 Jahre Erfahrung in der Automatisierung des Waferhandlings. 1992 entwickelte das Unternehmen das Batch-Wafer-Transfer-Tool Comet, ein neuartiges erstklassiges eigenständiges Batch-Wafer-Transfer-System für die Halbleiterindustrie. Anfang 2000 entwarf R2D Automation das erste Einzelwafer-Transfersystem und entwickelte eine neue Reihe von 300-mm-Batch-Transfersystemen unter Verwendung eines vollautomatischen hausgemachten Scara-Roboters. Parallel zu den Halbleiteraktivitäten begann R2D mit dem Entwurf von Batch-Wafer-Transfersystemen für die Solarindustrie.
Heute ist R2D Automation ein globaler Anbieter von Solar- und Halbleiterautomatisierungsgeräten mit einem weltweiten Marktanteil von 35% für Solardiffusionsöfen.
2006 lieferte R2D Automation erfolgreich die ersten Automatisierungssysteme, die mit dem Tempress-Diffusionsofen (Alix-Automatisierung) kombiniert wurden. Ein Jahr später wurde R2D von der Muttergesellschaft von Tempress (Amtech Systems Inc.) übernommen, um eine einzigartige integrierte Lösung für den Kundenstamm zu schaffen. Seitdem hat R2D der Solarindustrie über 400 Diffusionsautomatisierungssysteme zur Verfügung gestellt und ist damit Marktführer in diesem Segment. 2014 wurde eine neue Generation von Batch-Wafer-Transfersystemen eingeführt, die in die Tempress 5-Rohrofenplattform integriert werden sollen. In dieser neuen Automatisierung können Wafer in einem einzigen Schlitz und von Rücken zu Rücken im vollen und halben Abstand von Kassette zu Langboot übertragen werden.
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