Greene Tweed ist ein bewährter Anbieter von leistungsstarken Dichtungslösungen für Halbleiterfertigungsprozesse. Das Unternehmen ist auf Lösungen für extreme Plasmaumgebungen, Abscheidungstechnologien und fortschrittliche Verpackungsanwendungen spezialisiert. Seine Dichtungssysteme sind so ausgelegt, dass sie unter aggressiven Plasmachemien, über einen weiten Temperaturbereich hinweg und unter anspruchsvollen Vakuumbedingungen zuverlässig funktionieren. Sie tragen dazu bei, die Partikelbildung zu reduzieren und die Wafer Ausbeute sowohl bei Trocken- als auch bei Nassätzprozessen zu verbessern.

In Abscheidungsprozessen – von ALD und PECVD bis hin zur Galvanisierung – bietet Greene Tweed langlebige Dichtungslösungen wie O-Ringe, geklebte Schlitzventile und fortschrittliche Randabdichtungen, die selbst aggressiven Chemikalien und extremen Temperaturen zuverlässig standhalten. Darüber hinaus entwickelt Greene Tweed kundenspezifische Dichtungslösungen für fortschrittliche Packaging-Technologien wie Wafer-Level-Packaging und ECD, die eine höhere Effizienz, reduzierte Kontamination und stabile Prozesse für Halbleitertechnologien der nächsten Generation ermöglichen.

 

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