Product Type:
Services
Application:
Cleaning Accessories
Product Description:
ScrubTIPS, entwickelt zur Entfernung von Prozessrückständen aus kleinen, schwer erreichbaren Bereichen von beispielsweise Vakuumkammern.
- ScrubTIPS® sind einzigartige Reinigungswerkzeuge, die die Tupfer- und ScrubPAD®-Technologie von Foamtec International kombinieren. Sie verwenden gewaschene Diamant- oder Siliziumkarbid-Schleifmittel und selbst entwickelte Klebemethoden.
- ScrubTIPS® sind perfekt zum Polieren von Flecken, Kratzern und prozessbedingten Rückständen auf schwer zu reinigenden Oberflächen.
- ScrubPADS®, die in Verbindung mit UltraSOLV® Schwämmen, Wischtüchern und Tupfern verwendet werden, reduzieren die Reinigungszeiten und den Verschmutzungsgrad von kritischen Prozesswerkzeugen.
- Erhältlich in einer Vielzahl von Formen, Größen und Körnungen zum Schrubben von Werkzeugecken, O-Ring-Nuten, Detektor-Ports und anderen schwer zugänglichen Bereichen.
- Erhältlich in Ausführungen mit scharfen Spitzen und feinen Schleifmitteln zur Entfernung von Rückständen an ESCs (Electrostatic Chucks).
- Die einzigartigen Klebemethoden ermöglichen aggressives Schrubben, das für Implanter, AMAT HDP Kammern und Novellus Heizblöcke erforderlich ist.
- Perfekte alternative für die Verwendung von Scotch-Brite™ und Schraubenziehern bei extrem unzugänglichen Stellen wie O-Ring-Nuten und Kammereckbereichen.
- Ermöglicht das Polieren von Kratzern auf Dichtungsoberflächen.
Im Bereich Downloads finden Sie die verschiedenen verfügbaren ScrubTIPS und deren Spezifikationen.
Sie sind mit Diamantkorn und mit Siliziumkarbidspitzen erhältlich.
file_downloadscrubtip-datasheet.pdf
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