PFA/Teflon Wafer-Kassette

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Product Type:

Parts & Consumables


Application:

Handling, Wafer Cassette


Product Description:

PFA/Teflon-Kassetten können auch kundenspezifisch entworfen und an nahezu alle Wafer angepasst werden.

PFA/Teflon Kassetten sind sehr widerstandsfähig gegen konzentrierte Säuren (z.B. Flusssäure), Basen und Temperaturen bis 220 °C.

Die Kassetten lassen sich direkt in Säure-/Basen-Prozesse (Nass-Chemie) integrieren.

Kann beliebig graviert werden und ist RFID-fähig.

 


CK2-25-PFA

  • Produktname:2″ Teflon Kassette / PFA Kassette
  • Abmessungen:142.1(L)*67.08(B)*59(H)mm
  • Gewicht:194.5g
  • Kapazität: 25 PCS
  • Wafer-Größe: 2 Zoll (50 mm) Dicke 0,5 mm bis 0,7 mm
  • Material:Teflon / PFA
  • Stellplatz:4.76mm

CK2.5-25-PFA

  • Produktname: 2.5″ Teflon Kassette / PFA Kassette
  • Abmessungen:142(L) x 79(B) x 73(H)mm
  • Gewicht:231g
  • Kapazität: 25 PCS
  • Wafer-Größe: 2,5 Zoll
  • Material:Teflon / PFA

CK3-25-PFA

  • Produktname: 3″ Teflon Kassette / PFA Kassette
  • Abmessungen:142.49(L) x 94.36(B) x 82.53(H)mm
  • Gewicht:354.5g
  • Kapazität: 25 PCS
  • Wafer-Größe: 3 Zoll (75 mm)
  • Material:Teflon / PFA

CK4-25-PFA

  • Produktname:4″ Teflon Kassette / PFA Kassette
  • Abmessungen:125(L)*140(B)*113(H)mm
  • Gewicht:571g
  • Kapazität: 25 PCS
  • Wafer-Größe: 4 Zoll (100 mm) Dicke 0,5 mm bis 0,7 mm
  • Material:Teflon / PFA
  • Stellplatz:4.76mm

CK4-25-PFA (Hohl)

  • Produktname:4″ Teflon Kassette / PFA Kassette (hohl)
  • Abmessungen:125(L)*140(B)*113(H)mm
  • Gewicht:429.5g
  • Kapazität: 25 PCS
  • Wafer-Größe: 4 Zoll (100 mm), Dicke 0,5 mm bis 0,7 mm
  • Material:Teflon / PFA
  • Stellplatz:4.76mm

CK5-25-PFA

  • Produktname: 5″ Teflon Kassette / PFA Kassette
  • Abmessungen:152.4(W)*142.88(L)*146.05(H)mm
  • Gewicht:607.4g
  • Kapazität: 25 PCS
  • Wafer-Größe: 5 Zoll (ca. 125 mm), Dicke 0,5 mm bis 0,7 mm
  • Material:Teflon / PFA
  • Schlitzabstand: 4,76 mm bei 0,38 mm

CK6-25-PFA

  • Produktname:6″ Teflon Kassette / PFA Kassette
  • Abmessungen:179(L)*147(B)*175(H)mm
  • Gewicht:1045.4g
  • Kapazität: 25 PCS
  • Wafer-Größe: 6 Zoll (ca. 150 mm)
  • Material:Teflon / PFA
  • Stellplatz:4.76mm

CK8-25-PFA

  • Produktname:8″ Teflon Kassette / PFA Kassette
  • Abmessungen:233(L)*220(B)*225(H)mm
  • Gewicht:1407g
  • Kapazität: 25 PCS
  • Wafer-Größe: 8 Zoll (ca. 200 mm)
  • Material:Teflon / PFA

CK6-12-PFA

  • Produktname:6″ Teflon Kassette / PFA Kassette
  • Abmessungen:177(L)*145(B)*173(H)mm
  • Gewicht:860g
  • Kapazität: 12 PCS
  • Wafer-Größe: 6 Zoll (ca. 150 mm)
  • Material:Teflon / PFA

CK8-13-PFA

  • Produktname:8″ Teflon Kassette / PFA Kassette
  • Dimension:203.05(L)*233.05(W)*218.44(H)mm
  • Gewicht:1800g
  • Kapazität: 13 PCS
  • Wafer-Größe: 8 Zoll (ca. 200 mm)
  • Material:Teflon / PFA

CK12-13-PFA

  • Produktname:12″ Teflon Kassette / PFA Kassette
  • Abmessungen:355(L)*180(B)*325(H)mm
  • Gewicht:3600g
  • Kapazität: 13 PCS
  • Wafer-Größe: 12 Zoll (300 mm)
  • Material:Teflon / PFA
  • Stellplatz:4.76mm

CK6-25-PFA (niedriges Profil)

  • Produktname: 6″ Teflon Kassette / PFA Kassette (Low Profile)
  • Abmessungen:177(L)*140(B)*115(H)mm
  • Gewicht:666.9g
  • Kapazität: 25 PCS
  • Wafer-Größe: 6 Zoll (ca. 150 mm)
  • Material:Teflon / PFA

CK8-25-PFA (niedriges Profil)

  • Produktname: 8″ Teflon Kassette / PFA Kassette (Low Profile)
  • Abmessungen:235(L)*215(B)*160(H)mm
  • Gewicht:1407g
  • Kapazität: 25 PCS
  • Wafer-Größe: 8 Zoll (ca. 200 mm)
  • Material:Teflon / PFA

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  • PFA Cassette / Teflon Cassette, Capacitor of wafer can be customized and designed by customers’ request, able to resist strong acid, strong hydrofluoric acid, strong base and heat up to 200~220℃, use to deliver wafers in acid & base process of Fabrication factory.
  • Able to do laser engraving、
  • Able to install RFID. Keep the track of carrier and material.


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