By CKPLAS
Supplier InfoProduct Type:
Parts & Consumables
Application:
Handling, Wafer Cassette
Product Description:
PFA/Teflon-Kassetten können auch kundenspezifisch entworfen und an nahezu alle Wafer angepasst werden.
PFA/Teflon Kassetten sind sehr widerstandsfähig gegen konzentrierte Säuren (z.B. Flusssäure), Basen und Temperaturen bis 220 °C.
Die Kassetten lassen sich direkt in Säure-/Basen-Prozesse (Nass-Chemie) integrieren.
Kann beliebig graviert werden und ist RFID-fähig.
CK2-25-PFA
- Produktname:2″ Teflon Kassette / PFA Kassette
- Abmessungen:142.1(L)*67.08(B)*59(H)mm
- Gewicht:194.5g
- Kapazität: 25 PCS
- Wafer-Größe: 2 Zoll (50 mm) Dicke 0,5 mm bis 0,7 mm
- Material:Teflon / PFA
- Stellplatz:4.76mm
CK2.5-25-PFA
- Produktname: 2.5″ Teflon Kassette / PFA Kassette
- Abmessungen:142(L) x 79(B) x 73(H)mm
- Gewicht:231g
- Kapazität: 25 PCS
- Wafer-Größe: 2,5 Zoll
- Material:Teflon / PFA
CK3-25-PFA
- Produktname: 3″ Teflon Kassette / PFA Kassette
- Abmessungen:142.49(L) x 94.36(B) x 82.53(H)mm
- Gewicht:354.5g
- Kapazität: 25 PCS
- Wafer-Größe: 3 Zoll (75 mm)
- Material:Teflon / PFA
CK4-25-PFA
- Produktname:4″ Teflon Kassette / PFA Kassette
- Abmessungen:125(L)*140(B)*113(H)mm
- Gewicht:571g
- Kapazität: 25 PCS
- Wafer-Größe: 4 Zoll (100 mm) Dicke 0,5 mm bis 0,7 mm
- Material:Teflon / PFA
- Stellplatz:4.76mm
CK4-25-PFA (Hohl)
- Produktname:4″ Teflon Kassette / PFA Kassette (hohl)
- Abmessungen:125(L)*140(B)*113(H)mm
- Gewicht:429.5g
- Kapazität: 25 PCS
- Wafer-Größe: 4 Zoll (100 mm), Dicke 0,5 mm bis 0,7 mm
- Material:Teflon / PFA
- Stellplatz:4.76mm
CK5-25-PFA
- Produktname: 5″ Teflon Kassette / PFA Kassette
- Abmessungen:152.4(W)*142.88(L)*146.05(H)mm
- Gewicht:607.4g
- Kapazität: 25 PCS
- Wafer-Größe: 5 Zoll (ca. 125 mm), Dicke 0,5 mm bis 0,7 mm
- Material:Teflon / PFA
- Schlitzabstand: 4,76 mm bei 0,38 mm
CK6-25-PFA
- Produktname:6″ Teflon Kassette / PFA Kassette
- Abmessungen:179(L)*147(B)*175(H)mm
- Gewicht:1045.4g
- Kapazität: 25 PCS
- Wafer-Größe: 6 Zoll (ca. 150 mm)
- Material:Teflon / PFA
- Stellplatz:4.76mm
CK8-25-PFA
- Produktname:8″ Teflon Kassette / PFA Kassette
- Abmessungen:233(L)*220(B)*225(H)mm
- Gewicht:1407g
- Kapazität: 25 PCS
- Wafer-Größe: 8 Zoll (ca. 200 mm)
- Material:Teflon / PFA
CK6-12-PFA
- Produktname:6″ Teflon Kassette / PFA Kassette
- Abmessungen:177(L)*145(B)*173(H)mm
- Gewicht:860g
- Kapazität: 12 PCS
- Wafer-Größe: 6 Zoll (ca. 150 mm)
- Material:Teflon / PFA
CK8-13-PFA
- Produktname:8″ Teflon Kassette / PFA Kassette
- Dimension:203.05(L)*233.05(W)*218.44(H)mm
- Gewicht:1800g
- Kapazität: 13 PCS
- Wafer-Größe: 8 Zoll (ca. 200 mm)
- Material:Teflon / PFA
CK12-13-PFA
- Produktname:12″ Teflon Kassette / PFA Kassette
- Abmessungen:355(L)*180(B)*325(H)mm
- Gewicht:3600g
- Kapazität: 13 PCS
- Wafer-Größe: 12 Zoll (300 mm)
- Material:Teflon / PFA
- Stellplatz:4.76mm
CK6-25-PFA (niedriges Profil)
- Produktname: 6″ Teflon Kassette / PFA Kassette (Low Profile)
- Abmessungen:177(L)*140(B)*115(H)mm
- Gewicht:666.9g
- Kapazität: 25 PCS
- Wafer-Größe: 6 Zoll (ca. 150 mm)
- Material:Teflon / PFA
CK8-25-PFA (niedriges Profil)
- Produktname: 8″ Teflon Kassette / PFA Kassette (Low Profile)
- Abmessungen:235(L)*215(B)*160(H)mm
- Gewicht:1407g
- Kapazität: 25 PCS
- Wafer-Größe: 8 Zoll (ca. 200 mm)
- Material:Teflon / PFA
There are currently no downloads available.
There are currently no videos available.
- PFA Cassette / Teflon Cassette, Capacitor of wafer can be customized and designed by customers’ request, able to resist strong acid, strong hydrofluoric acid, strong base and heat up to 200~220℃, use to deliver wafers in acid & base process of Fabrication factory.
- Able to do laser engraving、
- Able to install RFID. Keep the track of carrier and material.