By FOAMTEC
Supplier InfoProduct Type:
Equipment
Application:
Wipers
Product Description:
Vorgesättigter Mikrofaser-Wiper mit UltraPure Water
- MiraSAT™ ist der erste Reinraumwischer, der mit 100 UltraPure Water vorgesättigt ist, um VOC in fortschrittlichen Wafer-Fabs zu reduzieren.
- MiraSAT™ ermöglicht es nun, IPA-ähnliche Reinigungseffizienz ohne die Kosten und Sicherheitsprobleme im Zusammenhang mit brennbaren Lösungsmitteln zu erreichen.
- MiraSAT™ ist eine kompromisslose Reinraum-/EH&S-Wischlösung.
- Die Mikrofaserkonstruktion mit einem einzigartigen gewebten Muster ermöglicht es Technikern, Verunreinigungen zu lösen, einzufangen und zu entfernen, während kritische Oberflächen sauber und trocken bleiben. Die Gewebe- und hochfeste, abgedichtete Kante bieten eine unübertroffene Beständigkeit gegen Abrieb und Reißen, um die in Gebrauch befindliche Partikel- und Fasererzeugung zu reduzieren. Hergestellt und verarbeitet für ISO 3 und höhere Reinraumumgebungen. Jede Packung ist doppelt verpackt, um die Protokolle für den Reinraumeintritt zu erleichtern.
HT5790S-EHS
Material: MicrofiberGröße: 9″ x 9″
Dichtung: Breite versiegelte Kante
Lösung: 100 Reinstwasser
MiraSAT™ Microfiber Sealed Edge Reinraum Wiper mit 100 Reinstwasser vorgesättigt. Jede Packung ist doppelt verpackt, um die Protokolle für den Reinraumeintritt zu erleichtern.
file_downloadmirasat-wipers-datasheet-rev3.pdf
- For use in ISO Class 3 and higher cleanrooms.
- Cleaning of hi-vac process chambers and robotics in flat panel display and wafer fabs.
- Cleaning VOC sensitive process equipment in lithography, CVD and metrology modules.
- Cleaning baked on resist and developer from lithography tracks.
- Final wipedown of sensitive components such as EFEM’s, electrostatic chucks, VAT valves and gas dispersion plates.
- Equipment PM’s and wetcleans where the elimination of VOC’s and flammable solvents are required.
- Protects VOC sensitive fab modules such as lithography, metrology and CVD from solvent fumes.
- Industry leading abrasion resistant fabric reduces risks of fiber and particle excursions associated with fab wipers.
- Woven microfiber fabric enables improved contamination pickup leading to faster PM’s and improved equipment uptime.
- Even, consistent wetting of wiper enables excellent first pass cleaning results and reduced cleaning time.
- Foamtec’s state of the art processing facilities produces a wiper optimized for use in the most advanced wafer fabs.