MiraSAT VOC frei Wischen

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By FOAMTEC

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Product Type:

Equipment


Application:

Wipers


Product Description:

Vorgesättigter Mikrofaser-Wiper mit UltraPure Water

  • MiraSAT™ ist der erste Reinraumwischer, der mit 100 UltraPure Water vorgesättigt ist, um VOC in fortschrittlichen Wafer-Fabs zu reduzieren.
  • MiraSAT™ ermöglicht es nun, IPA-ähnliche Reinigungseffizienz ohne die Kosten und Sicherheitsprobleme im Zusammenhang mit brennbaren Lösungsmitteln zu erreichen.
  • MiraSAT™ ist eine kompromisslose Reinraum-/EH&S-Wischlösung.
  • Die Mikrofaserkonstruktion mit einem einzigartigen gewebten Muster ermöglicht es Technikern, Verunreinigungen zu lösen, einzufangen und zu entfernen, während kritische Oberflächen sauber und trocken bleiben. Die Gewebe- und hochfeste, abgedichtete Kante bieten eine unübertroffene Beständigkeit gegen Abrieb und Reißen, um die in Gebrauch befindliche Partikel- und Fasererzeugung zu reduzieren. Hergestellt und verarbeitet für ISO 3 und höhere Reinraumumgebungen. Jede Packung ist doppelt verpackt, um die Protokolle für den Reinraumeintritt zu erleichtern.


HT5790S-EHS
Material: MicrofiberGröße: 9″ x 9″
Dichtung: Breite versiegelte Kante
Lösung: 100 Reinstwasser
MiraSAT™ Microfiber Sealed Edge Reinraum Wiper mit 100 Reinstwasser vorgesättigt. Jede Packung ist doppelt verpackt, um die Protokolle für den Reinraumeintritt zu erleichtern.

  • For use in ISO Class 3 and higher cleanrooms.
  • Cleaning of hi-vac process chambers and robotics in flat panel display and wafer fabs.
  • Cleaning VOC sensitive process equipment in lithography, CVD and metrology modules.
  • Cleaning baked on resist and developer from lithography tracks.
  • Final wipedown of sensitive components such as EFEM’s, electrostatic chucks, VAT valves and gas dispersion plates.
  • Equipment PM’s and wetcleans where the elimination of VOC’s and flammable solvents are required.
  • Protects VOC sensitive fab modules such as lithography, metrology and CVD from solvent fumes.
  • Industry leading abrasion resistant fabric reduces risks of fiber and particle excursions associated with fab wipers.
  • Woven microfiber fabric enables improved contamination pickup leading to faster PM’s and improved equipment uptime.
  • Even, consistent wetting of wiper enables excellent first pass cleaning results and reduced cleaning time.
  • Foamtec’s state of the art processing facilities produces a wiper optimized for use in the most advanced wafer fabs.


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