Product Type:
Parts & Consumables
Application:
Cleaning Accessories
Product Description:
ErgoSCRUB, Ein ergonomischer Handblock zur Verwendung mit ScrubDISKS. Damit lassen sich Prozessablagerungen in Vakuumkammern entfernen.
ErgoSCRUB® wurde entwickelt, um Technikern ein weiches, ergonomisch korrektes Reinigungswerkzeug zur Verfügung zu stellen, um Prozessrückstände von Vakuumkammern zu entfernen, die in CVD-, PECVD-, PVD-, Sputter-, Plasmaätz-, RIE- und Ionenimplantationsprozessen in der Halbleiter-, LCD-, Solarzellen-, Optik- und Festplattenindustrie verwendet werden.
FT900 – PSA Series – Soft Handle Compatible With: PSA ScrubDISKS®
FT901 – Velcro Series – Soft Handle Compatible With: Velcro ScrubDISKS®
FT950 – PSA Series – Firm Handle Compatible With: PSA ScrubDISKS®
FT951 – Velcro Series – Firm Handle Compatible With: Velcro ScrubDISKS®
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Nassreinigung von CVD-, PECVD-, PVD-, Sputtering-, Plasma-Etch-, RIE- und Ionenimplantat-Prozesskammern in Halbleiter-Waferfabs.