Automegasamdri®-938

Product Type:

Equipment

Application:

CPD: Critical Point Dryer

Product Description:

• Verarbeitung von bis zu fünf 8-Zoll-Wafer pro Prozesslauf
• Programmierbare Touchscreen-Schnittstelle
• Das erste Gerät mit vorheriger Überprüfung der Laufdaten
• Integrated Chiller Loop Decreases LCO2 Consumption
• Einfache Erleichterung mit kleinem Footprint-Design

• Eine spezielle anfängliche langsame Befüllung der Prozesskammer ermöglicht eine ideale Fluiddynamik, wobei die empfindlichsten Mikrogeräte erhalten bleiben.
• Die Wartung wird durch zugängliche Komponenten, einschließlich der externen Nachspülfilterbaugruppe, vereinfacht.
• Patent angemeldet „Vortex Swirl“: Nichtmechanische Rührkammer, die einen fluiddynamischen Austausch ermöglicht, ohne dass Partikel erzeugende reibungsverursachende Vorrichtungen erforderlich sind.
• Extrem effizienter integrierter geschlossener Kühlkreislauf, der die Kammertemperatur schnell senkt, um kürzere Prozesslaufzeiten zu erreichen.
• Der interne SOTER ™ -Kondensator erfasst und trennt leise CO2-Abgase und Alkoholabfälle.
• Unsere originalen Kammereinsätze ermöglichen die Kammer-ID. Varianz der Kammer I.D. Maximierung der Effizienz beim LCO2-Verbrauch, der Prozesszeit und Bereitstellung von Wafer-Prozessfunktionen mit mehreren Größen!
• Prozesskammer-LCO2-Filtration auf 0,08 um mit 99,999% + Partikelretention.
• Verarbeitet bis zu fünf 8 „Wafer pro Lauf. Enthalten sind die folgenden HF-kompatiblen Waferhalter: 8“, 6 „, 4“, 3 „, 2“ und 10 mm Matrizenhalter.
• Die Kammerbeleuchtung über das Sichtfenster erleichtert die Visualisierung des Kammerstatus.
• Automatischer Prozess mit werkseitigem Standardrezept oder der Möglichkeit, Ihr eigenes Rezept anzupassen!
• Alle Innenflächen sind gegenüber CO2 und hochreinen Alkoholen inert.
• Wiederholbare Betriebsparameter gewährleisten die „Reproduzierbarkeit“ der Ergebnisse.
• Sicherheitsbetriebsfunktionen, die sowohl in die automatische Temperatur- als auch in die Druckregelung integriert sind.
• Alle elektronischen Komponenten erfüllen die CE-, UL- und / oder US-Militärspezifikationen.
• Statisch freies Reinraum-kompatible Design.