By FOAMTEC
Supplier Info
Product Type:
Parts & Consumables
Application:
Reinigungsmittel
Product Description:
Mikrofasertuch, mit hochreinem Wasser vorgetränkt
- MiraSAT™ ist das erste mit 100 % Reinstwasser vorgesättigte Reinraumtuch, dass für die Reduzierung von VOC-Emmissionen in modernen Fertigungsstätten für Wafer entwickelt wurde.
- Mit MiraSAT™ ist es nun möglich, eine IPA-ähnliche Reinigungseffizienz zu erreichen, ohne die Kosten und Sicherheitsbedenken bei der Verwendung brennbarer Lösungsmittel.
- MiraSAT™ bietet eine kompromisslose Lösung für die Reinigung von Reinräumen/EH&S.
- Die Mikrofaserkonstruktion mit einem einzigartigen gewebten Muster ermöglicht es Technikern, Verunreinigungen zu lösen, einzuschließen und zu entfernen, während kritische Oberflächen sauber und trocken bleiben. Das Gewebe und die hochfeste, versiegelte Kante bieten eine unübertroffene Abrieb- und Reißfestigkeit, um die Entstehung von Partikeln und Fasern während des Gebrauchs zu reduzieren. Hergestellt und verarbeitet für Reinraumumgebungen nach ISO 3 und höher. Jede Packung ist doppelt verpackt, um den Vorgaben entsprechend in den Reinraum eingebracht werden zu können.
HT5790S-EHS
Material: MicrofiberSize: 9″ x 9″
Seal: Wide Sealed Edge
Solution: 100% Ultrapure Water
MiraSAT™ Microfiber Sealed Edge Cleanroom Wiper presaturated with 100% Ultrapure Water. Each pack is double bagged to aid cleanroom entry protocols.
file_downloadmirasat-wipers-datasheet-rev3.pdf
- Für den Einsatz in Reinräumen der ISO-Klasse 3 und höher.
- Reinigung von Hochvakuum-Prozesskammern und Robotik in der Flachbildschirm- und Waferfertigung.
- Reinigung VOC-empfindlicher Prozessanlagen in Lithografie-, CVD- und Messtechnikmodulen.
- Hervorragend geeignet zur Reinigung von eingebranntem Resist und Entwickler von Lithografiespuren.
- Endreinigung empfindlicher Komponenten wie EFEMs, elektrostatische Chucks, VAT-Ventile und Gasverteilplatten.
- Wartung und Nassreinigung von Anlagen, bei denen VOCs und entzündliche Lösungsmittel vermieden werden müssen.
- Schutz VOC-empfindlicher Fertigungsmodule, z. B. in der Lithografie, Messtechnik und CVD, vor Lösungsmitteldämpfen.
- Branchenführendes abriebfestes Gewebe reduziert das Risiko von Fasern und Partikelausbrüchen, wie sie bei herkömmlichen Wischtüchern auftreten können.
- Gewebte Mikrofasern ermöglichen eine verbesserte Aufnahme von Verunreinigungen, was zu schnelleren Wartungen und höherer Anlagenverfügbarkeit führt.
- Gleichmäßige und konstante Befeuchtung des Wischtuchs sorgt für exzellente Reinigungsergebnisse beim ersten Durchgang und verkürzt die Reinigungszeit.
- Foamtecs hochmoderne Produktionsanlagen fertigen ein Wischtuch, das für den Einsatz in den fortschrittlichsten Waferfabriken optimiert ist.