By AXUS
Supplier Info
Product Type:
Equipment
Application:
CMP Generalüberholt
Product Description:
AXUS-Technology ist spezialisiert auf die Aufbereitung von CMP, Wafer Grinding & Wafer Cleaning Equipment sowie auf die Lieferung von Upgrades und Ersatzteilen.
Das Strasbaugh 6EC CMP-System ist ein wirtschaftliches Werkzeug für chemisch-mechanische Planarisierungsforschung, Fehleranalyse und Kleinserienproduktion.
Seine halbautomatischen Abläufe sind über eine farbige, berührungsempfindliche GUI programmierbar und ermöglichen eine wiederholbare und genaue Prozesssteuerung.
Das Modell 6EC ist die erschwingliche Lösung, die die Vorteile einer hochmodernen CMP zu geringen Kosten bietet.
- Tisch- und Spindeldrehzahlmotoren mit geschlossenem Regelkreis sorgen für konsistente Prozessergebnisse.
- Programmierbare Pad-Konditionierung erhöht die Lebensdauer des Pads und verbessert WIWNU.
- Minimale Wartung senkt die Betriebskosten.
- Geringer Platzbedarf bietet Komfort für kleine Labors.
- Das Pad-Konditionierungssystem bietet in-situ und/oder ex-situ programmierbare selektive Pad-Konditionierung für konsistente Abtragsraten und minimale Ungleichförmigkeit.
- 20 Zonen mit programmierbarer Steuerung: Verweilzeit, Abwärtskraft und Drehzahl können für jede Zone programmiert werden.
- Die Pad-Konditionierung kann mit einer diamantbeschichteten Scheibe oder einer Nylonbürste erfolgen.
- Optionen:
- ViPRR-Träger reduzieren den Kantenausschluss, die Gleichmäßigkeit von Kontrollzentrum zu Kontrollzentrum und verbessern die Gesamtleistung und Zuverlässigkeit.
The Strasbaugh 6-EC model is an economical tool for chemical mechanical planarization (CMP) research, failure analysis and low volume production.