By RENA
Supplier Info
Product Type:
Equipment
Application:
Nassprozesse
Product Description:
- Die Advancer-Plattform von RENA für Nassbänke bietet flexible Konfigurationen, die effektive Lösungen für viele Nassverarbeitungslösungen bieten.
- Der Advancer ist als Full-Auto oder Semi-Auto, Stand-alone oder modular erhältlich.
- Die Advancer Nassbank bietet viele Funktionen, um die anforderungen an chemische Prozesse zu optimieren, wie z. B. chemische Massenanrufe und Status, chemisches Spiken und „In-Tank“-Mischung von Chemikalien, die von IDX Flexware überwacht werden.
- Mit einer extrem geringen Stellfläche bietet die RENA Advancer Wet Bench Nassverarbeitungslösungen für Fabs mit begrenztem Produktionsraum.
- Die Advancer Wet Bank ist eine praxiserprobte Plattform, die Zuverlässigkeit, Konfigurierbarkeit, längere Betriebszeiten und höhere Rentabilität bietet.
- Alle sind die Markenzeichen eines RENA-Nassverarbeitungssystems.
- Lösungen, die auf Engagement basieren
Verfügbar als:
- Advancer Classic
- Advancer Gemini: ein duales Prozess, Dual-Roboter-Nassverarbeitungssystem
- Advancer HF
- Advancer Micro (schmal)
Eigenschaften:
- Einzel- oder Zweikassettenfunktion
- Alle standard-Halbleiterprozesse verfügbar
- 6- und 8-Zoll-Verarbeitung ohne Änderungen
- Modulares Design für eine einfache zukünftige Erweiterung.
- Leicht zugänglicher Sanitär-, Pneumatik- und Elektrokomponenten
- Einzelprozess- und Spüldesign
- Side Mount Roboter, leicht gleitet für den Service
- Optionale chemische Spiking-Fähigkeit
- Flexware Prozesssteuerungssoftware
- Verfügbar in allen gängigen Prozesskonfigurationen
- Einfach erweiterbar mit hoher Zuverlässigkeit
Optionen:
- Viele Tank- und Prozessbadoptionen, einschließlich Megasonics und Ultraschall
- Heizung, Kühler, Trockner Optionen
- Spiking, Reclaim, deckel, überlaufen Wehr, Rezirkulation
- Filter-, Füllmethode, Rührung, Spül- und Abflussoptionen.
- Wafer Carrier und Queue-Pass-on-Kassettenoptionen
- HEPA- oder ULPA-Filter
- SECS/GEM-Schnittstellenoptionen
- Chemische Bulk-Versorgung
- Integriertes chemisches Spike
- Automatische oder manuelle Türen
- Materialauswahl FM4910 (Halar, CPVC, PVDF) oder
- Polypropylen oder Edelstahl
- SEMI S2-0703 Evaluierungsaudits von Drittanbietern und FM-zertifizierte Systeme
- UL gelistet 508A Elektrische Hauptplatte
Semiconductor, GaAs, solar cell, IC, Medical and MEMS. The system is suitable for a wide variety of etch, strip and clean applications for semiconductor processing. Applications include wet processing for IC devices, medical device, MEMS, LED and III-V Compounds.