By GYRO
Supplier InfoProdukttyp:
Metrology & Handling
Anwendung:
Automation
Produktbeschreibung:
Der AMR für Metallrahmen-Magazine ist die intelligente Lösung für eine hochpräzise, automatisierte Materiallogistik in der Halbleiter- und Mikrofertigung. Entwickelt für maximale Effizienz und Prozesssicherheit, verbindet dieses autonome mobile Robotersystem modernste Navigationstechnologie mit präziser Handhabung sensibler Werkstücke.
Mit einer Kapazität von bis zu 4 Metallrahmen-Magazinen eignet sich der AMR ideal für anspruchsvolle Produktionsumgebungen. Er unterstützt eine Vielzahl kritischer Prozesse, darunter die Wafer-Montage auf Trägerfolie, CMP, Laserbearbeitung, Sägen, UV-Behandlung sowie das präzise Chip-Handling. Dadurch wird ein nahtloser Materialfluss zwischen den einzelnen Fertigungsschritten gewährleistet.
Ein herausragendes Merkmal ist die lückenlose Navigations- und Sicherheitstechnologie: Dank innovativer Sensorik entstehen keinerlei Totzonen bei der Positionsbestimmung oder Hinderniserkennung. Ergänzt wird dies durch ein sekundäres Positionierungssystem mit omnidirektionalen Rädern und visueller Feinjustierung, das höchste Genauigkeit auch auf engstem Raum ermöglicht.
Für maximale Präzision in der Handhabung sorgt ein integrierter Roboterarm mit 2,5D-Bildverarbeitung, der eine exakte Kalibrierung der Koordinaten in 6 Freiheitsgraden erlaubt. Selbst komplexe Greif- und Platzierungsaufgaben werden damit zuverlässig und wiederholgenau ausgeführt.
Der eingesetzte 6-achsige kollaborative Roboter, zertifiziert nach ISO 10218-1 und ISO 15066, gewährleistet höchste Sicherheitsstandards im Zusammenspiel mit dem Menschen – ideal für moderne, flexible Produktionskonzepte.
Ihr Mehrwert auf einen Blick:
• Keine Totzonen bei der Navigationspositionierung und Sicherheitserkennung
• Sekundäres Positionierungssystem mit omnidirektionalen Rädern und visueller Präzisionsausrichtung
• Roboterarm mit 2,5D-Bildverarbeitung – Kalibrierung der Koordinaten mit 6 freien Gradienten
• 6-achsiger kollaborativer Roboter mit Zertifizierung nach ISO 10218-1 und ISO 15066
• Zertifiziert nach SEMI S2, S8, S10, S13, S14, S17 und S22
• Unterstützung für LF-RFID, UHF-RFID und Barcode-Leser
• Unterstützung des E84-SEMI-Standards
• Unterstützung von SEMI SECS/GEM (GEM300-Reporting)
Mit dem AMR für Metallrahmen-Magazine optimieren Sie Ihre Produktionsabläufe nachhaltig, steigern die Prozesssicherheit und setzen neue Maßstäbe in der intelligenten Fertigungsautomation.
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- Wafer-Montage (auf Trägerfolie)
- CMP, Laserbearbeitung
- Sägen
- UV-Behandlung
- Chip-Handling



