Fastmicro Sample Scanner

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Produkttyp:

Equipment


Anwendung:

Anderes Equipment, Optische Inspektionssysteme


Produktbeschreibung:

Präzise Messung von Oberflächenpartikeln

 

Funktion und Anwendungsbereich

Der Fastmicro Sample Scanner ist ein System zur Oberflächenpartikelmessung für die Validierung und Überwachung der Produktreinheit. Die Messung erfolgt indirekt über kompatible Sampler wie PMC 2.0 oder den Fastmicro Sampler, nachdem Partikel von einem Produkt, einer Baugruppe, einem Arbeitsplatz oder einer anderen Oberfläche aufgenommen wurden. Dadurch sind robuste Messungen auch an schwer zugänglichen, gekrümmten oder relativ rauen Oberflächen möglich, ohne Kreuzkontamination zu verursachen.

 

Schnelle und effiziente Anwendung in Produktion, QC und F&E

Das System ist für den schnellen Einsatz durch Bediener in Produktion, Qualitätskontrolle und R&D-Umgebungen ausgelegt. Proben werden innerhalb weniger Sekunden gemessen; der gesamte Bediener-Workflow kann in weniger als einer Minute abgeschlossen werden.

 

Digitale Partikelanalyse für maximale Prozesssicherheit

Die digitale Ausgabe liefert objektive Partikeldaten wie Anzahl, Position und Größe und unterstützt damit wiederholbare Pass/Fail-Qualifikationen, SPC-Monitoring sowie vertiefte Analysen durch erfahrene Anwender.

 

Erweiterte Messmöglichkeiten für höchste Flexibilität

Zusätzlich zu indirekten Sampler-Messungen kann der Scanner über ein entsprechendes Interface auch direkte Messungen mit SEMI-standardisierten 2-Zoll-Siliziumwafern unterstützen.

 

Das Fastmicro Sample Scanner System eignet sich für:

  • Qualifizierung sauberer Produkte
  • Reinheitsprüfung von Baugruppen
  • Qualifizierung von Reinigungsprozessen
  • Monitoring von Reinräumen und Arbeitsbereichen

Es ist ideal für Anwendungen, die quantitative und reproduzierbare Daten zur Oberflächenreinheit erfordern.


Modell: FM-PS-SAS-V01; CE-zertifiziert; EMV-Industrienorm
Messprinzip: Oberflächenpartikelmessung; indirekte Messung mit kompatiblen Samplern (PMC 2.0 oder Fastmicro Sampler) und Sampler Holder
Option für direkte Messung: SEMI-standardisierte 2-Zoll-Siliziumwafer mit passendem Interface/Rezept
Untere Nachweisgrenze: 0,5 µm PSL-äquivalente Partikel (NIST-zertifiziert)
Field of View / Partikelerkennungsfläche: Ø 14 mm auf PMC 2.0; Ø 20 mm auf Fastmicro Sampler und 2-Zoll-Wafer
Reproduzierbarkeit: relative Zählwertvarianz kleiner als 10%; GR&R-Report auf Anfrage verfügbar
Größengenauigkeit: innerhalb von 20% für PSL-äquivalente Partikel (NIST-zertifiziert)
Wiederholbarkeit der Messung: zerstörungsfrei; keine zusätzliche Kontamination durch die Messung
Sampler-Leistung: Fastmicro Sampler mit >90% Partikelaufnahmeeffizienz; kein messbarer Rückstand angegeben
Datenausgabe & Visualisierung: Anzahl, Position und Größe der Partikel; annotiertes Bild mit Partikelerkennungs-Overlay; 3D-Signaldarstellung ausgewählter Partikel; Detailansicht des Rohbildes
Export / Datenaustausch: KLARF- und .csv-Export; USB- oder Ethernet-Verbindung; Remote-Access-Funktion enthalten
Reporting: optionaler Qualifizierungsreport in UI und PDF gemäß ISO 14644-9
Betriebsumgebung: saubere Umgebung, ISO 7 gemäß ISO 14644-1 / Klasse 10.000 FED STD 209E oder sauberer
Abmessungen / Gewicht: Scanner 615 × 300 × 460 mm (L×B×H); Nettogewicht 16 kg
Verpackung: IPCC-zertifizierte Sperrholz-Palettenbox 710 × 530 × 670 mm (L×B×H); Nettogewicht 45 kg
Lieferumfang: Tastatur, Maus, Netzkabel, HDMI-Kabel, 2× PMC 2.0 in einer Box
Software- / Dokumentationssprache: Englisch
Optionale Erweiterungen: 2-Zoll-Wafer-Interface + Rezept; Fastmicro Surface Particle Sampler Kit + Rezept; Sampler SEM Stub / Sampler Particle Trap Holder; Stand-alone-Softwarelizenz; Softwarelizenz Advanced Workflow and Reporting; Supervisor-Training

 

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  • Qualifizierung sauberer Produkte
  • Qualifizierung sauberer Baugruppen
  • Qualifizierung von Reinigungsprozessen und Pass/Fail-Kontrolle
  • Qualitätskontrolle von Teilen und Baugruppen
  • Reinraum-Reinheitsmonitoring
  • Arbeitsplatz-Reinheitsmonitoring
  • Oberflächenprobenahme an rauen, gekrümmten oder schwer zugänglichen Oberflächen
  • Bedienerprüfungen in der Produktion, R&D-Analyse und SPC-Monitoring



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