By ASFLOW
Supplier Info
Product Type:
Equipment
Application:
Trockenprozesse & UHP
Product Description:
ASFLOW Präzisionsventile und -regler sind für hochreine Gasversorgungssysteme in der Halbleiterfertigung konzipiert und gewährleisten eine präzise Durchflussregelung, hervorragende Abdichtung und langlebige Leistung.
Hergestellt aus hochwertigem SUS316L Edelstahl (ein- oder doppelt geschmolzen) und ausgestattet mit Optionen wie PCTFE-, PFA- oder PI-Sitzen, bieten ASFLOW-Ventile eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit, minimale Partikelbildung und erfüllen die SEMI-Oberflächenrauheitsstandards (Ra ≤ 5 μinch).
Das Produktspektrum umfasst Membranventile (manuell & pneumatisch), Balgventile, Rückschlagventile und Hochdruckregler in verschiedenen Größen von 1/4″ bis 3/4″ und größer (für Balgventile).
ASFLOW-Ventile werden strengen Prüfungen unterzogen, darunter Heliumlecktests, Partikelinspektionen und Hochreinheitsreinigungen, um einen zuverlässigen und sicheren Betrieb in kritischen Gassystemen sicherzustellen.
Mit kurzen Lieferzeiten, wettbewerbsfähigen Preisen und bewährter Qualität bieten ASFLOW-Ventile und -Regler eine umfassende Lösung für die Halbleiterfertigung und andere ultrareine Anwendungen.
| Gehäusematerial: | SUS316L (Einfach geschmolzen / Doppelt geschmolzen) |
| Sitzmaterial: | PCTFE / PFA / PI |
| Membran: | Ni-Co-Legierung / ELGILOY® (je nach Typ) |
| Max. Betriebsdruck: | 1 MPa bis 20,6 MPa (je nach Typ) |
| Max. Betriebstemperatur: | -10 °C bis +150 °C |
| Oberflächenrauheit: | Ra ≤ 5 μinch / Ry ≤ 0,7 μm (SEMI-Standard) |
| Helium-Lecktest: | ≤ 1×10⁻⁹ mbar·l/s |
| Partikelprüfung: | 0,1 μm / Keine Zählung (1 CFM bei 30–60 psi N₂) |
| Anschlüsse: | Innengewinde, Außengewinde, Lok-Fitting, Stumpfschweißung, drehbares Außengewinde |
| Größen: | 1/8″, 1/4″, 3/8″, 1/2″, 3/4″, 1″, 1,5″ |
- Halbleiterfertigung
- Herstellung von MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme)
- Produktion von Flachbildschirmen
- Herstellung von Photovoltaikzellen
- LED-Produktion
- Forschung & Entwicklung (F&E) für hochreine Gassysteme
- Kritische Gasversorgungssysteme mit Anforderungen an höchste Reinheit und präzise Durchflussregelung