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ESI e3612 Single Wafer, Dual
Chamber, Dual Cassette
Dual Pick Robot, Dual cooling stations with
APT

Trockenprozesse & UHP

e3612 Plasmaveraschungsanlage für einzelne Wafer

Zwei Kammern mit 2 Kassettenstationen und Doppelarm-Roboter Asher.

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by ESI

ESI Asher

Trockenprozesse & UHP

e3611 Plasmaveraschungsanlage für einzelne Wafer

Einzelkammer mit 2 Kassettenstationen und einarmigem Roboter Asher.

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Gasonics e3511 Asher plasma Photoresist stripper

Trockenprozesse & UHP

Gasonics e3511 Plasma Asher

Gasonics e3511 Plasma Asher.

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