By NADAtech
Supplier Info
Product Type:
Metrology & Handling
Application:
Wafer-Handling
Product Description:
Die NADAtech T Series 300 mm Sorter sind FOUP/FOSB-kompatibel für vollintegrierte oder Port-spezifische 150 mm / 200 mm / 300 mm Bridge-Konfigurationen. Erhältlich mit 2 bis 8 Stationen mit Inline- und Back-to-Back-Konfigurationen. Jedes System kann durch Hinzufügen der bevorzugten Sorter+ Optionen auf Ihre spezifischen Bedürfnisse zugeschnitten werden.
- 2–4 Port Inline-Versionen, 4–8 Port Back-to-Back-Versionen mit Industriestandard 300 mm Loadports verfügbar
- Höchste Zuverlässigkeit mit Industriestandard Dual Yaw Trackless OEM Robotics
- Vollständige Implementierung der GEM300-Standards und Sortierpaket für vollautomatische 300-mm-Fabriken
- beinhaltet ALLE NADAtech Sorter+ Optionen
- Kantengreifer oder Vakuum-Rückseiteneffektoren
- Hochflexible DPSA 300wph OCR Workflow mit IOSS OCR
- OHT Handoff oder Stocker eingebettet
- Integrierte RFID und E84 OHT Lieferoptionen
- 150mm / 200mm / 300mm Vakuum Rückseiten- oder Kanten-Aligner
- UPS Power Backup +Vakuumbehälter
- Erfahrene Vor-Ort-Beratung für spezifische Anforderungen kostenlos
Optionale Funktionen:
- ChipChecker™ (>350 um)
- ChipCheckerPro™ (>40 um)
- Bright-Light Inspection
- Stocker
- Wafer Thickness Measurement
- Macro Inspection
- Slip Finder
- …
file_downloadnadatech-t-series.pdf
file_downloadnadatechoptions-inspection.pdf
file_downloadnadatechbare-wafer-stocker.pdf
file_downloadnadatechoptions-inspection.pdf
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NADAtech T Series OC Bridge Wafer Sorters sind für zentrale Prozesse in der Halbleiterfertigung ausgelegt, darunter:
- Sortierung
Präzise Identifikation und Klassifizierung von Wafern auf Basis von OCR-Daten. - Inspektion
Inline-Inspektion und Metrologie zur Qualitätssicherung in Echtzeit. - Handhabung
Zuverlässiger und schonender Wafer-Transport zwischen Prozessschritten und Anlagen. - Automatisierung
Nahtlose Integration in vollautomatisierte Fertigungsumgebungen zur Maximierung von Effizienz und Durchsatz.