N Series Wafer Sorting / Handling / Inspection Plattform

Product Type:

Metrology & Handling

Application:

Wafer-Handling

Product Description:

Die N Series OC Sorter (auch bekannt als Open Cassette oder Open Carrier Sorter) sind perfekt geeignet für 50 mm bis 200 mm Scheibendurchmesser mit einer raumsparenden Grundfläche und hoher Sortiergeschwindigkeit. Alle Modelle beinhalten Industrie-OEM-Roboter für langfristige Zuverlässigkeit und Sevicefähigkeit, NADAtech’s innovatives RBuilder-Rezeptentwicklungs-Tool und SUREscan Thrubeam-Carrier-Scanning für präzises Wafer-Mapping. Jedes System kann an spezifische Aufgaben durch verschiedene Sorter+ Optionen angepasst werden.

• 2 bis 6 Open-Carrier-Plätze sind verfügbar für größere Chargen und Aufteilungen
• Hochflexible OCR/BCR-Lesung mit >300wph Durchsatz / 800wph ohne Lesung
• Dual-Arm-Roboter ermöglicht Sorting im selben Carrier
• Hybridlösung für mehrere Scheibendurchmesser (maximal 3 Größen pro Platz)
• Endeffektoren für rückseitiges Vakuum, passives or aktives Rand-Handling erhältlich
• Multiple Sortierungsabläufe mit dem innovativen RBuilder Rezept-Entwicklungs-Tool programmierbar
• IOSS OCR
• Extrem platzsparender 4-Stationen- oder noch kleinerer 2-Stationen-Grundriss für enge Platzverhältnisse
• Volle SECS/GEM E5/E30 basierte Host-Kommunikation/Operation verfügbar
• Optionales Mini-Environment mit Class 10 FFU-Filter erhältlich
• Nahezu alle Sorter+ Optionen können integriert werden
• Kostenlose Vor-Ort-Beratung durch erfahrene lokale Mitarbeiter