By TRION
Supplier Info
Product Type:
Equipment
Application:
Trockenprozesse & UHP
Product Description:
Die Kosten für neue Abisoliersysteme sind auf ein unangemessenes Niveau gestiegen. Trion hat dieses kritische Problem gelöst. Der Apollo ist ein kompaktes, kostengünstiges und vielseitiges System, das für ein 200mm oder 300mm Chuck konfiguriert werden kann. Durch den Einsatz von HF-Bias-Power können schwer zu entfernende Widerstandsschichten bei niedrigen Temperaturen entfernt werden. Je nach Anwendung kann dieses System eine Mikrowellenquelle (die sowohl zuverlässig als auch frei von typischen Mikrowellen-Tuning-Problemen ist) oder ICP-Technologie enthalten.
- Ätzraten bis zu 6um/min
- Hoher Durchsatz
- Geringe Plasmaschäden
- Automatische Stuning
- 100mm bis 300mm Wafer
- Kleiner Fußabdruck
- Wettbewerbsfähige Preise
file_downloadApollo-Stripper-Brochure.pdf
MEMS, Compound Semiconductor, Pilot Line Production.