By ASFLOW
Supplier Info
Product Type:
Equipment
Application:
Trockenprozesse & UHP
Product Description:
Filter und Diffusoren sind präzisionsgefertigt für ultrahochreine (UHP) Gasversorgungssysteme in der Halbleiter-, MEMS-, LED-, Photovoltaik- und anderen Hochtechnologieindustrien.
Diese Komponenten gewährleisten maximale Prozesssicherheit durch zuverlässige Partikelrückhaltung bis zu 0,0025 µm (LRV9), hervorragende Korrosionsbeständigkeit und einen äußerst geringen Druckabfall.
Gefertigt aus SUS316L-Edelstahl oder Hastelloy C-22 erfüllen ASFLOW-Filter und -Diffusoren die strengen SEMI-Oberflächenanforderungen (Ra ≤ 5 µinch bzw. <0,25 µm für Großfilter) und durchlaufen rigorose Helium-Lecktests (≤ 1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec) sowie Partikelvalidierungen gemäß SEMI F70-Standards.
Produktspektrum von ASFLOW:
- Edelstahl-Gasfilter für allgemeine UHP-Anwendungen
- Hastelloy-Gasfilter für korrosive Gase
- Dichtungsfilter für Point-of-Use-Schutz (bis zu 0,3 µm)
- Großgasfilter für Hochdurchflussleitungen bis zu 20.000 SLPM
- Diffusoren zur Gasverteilung mit null Partikelabgabe
Erhältlich in verschiedenen Größen (1/4″ bis 2″), Anschlussarten (männlich, weiblich, LOK, Stumpfschweißen, Flansch) sowie in kundenspezifischen Designs auf Anfrage.
Alle Produkte sind ultrarein, in Reinräumen verpackt und zertifiziert für den Einsatz in den anspruchsvollsten UHP-Gasversorgungssystemen.
| Gehäusematerial: | SUS316L / Hastelloy C-22 (je nach Typ) |
| Filtrationseffizienz: | ≥ LRV9 bis zu 0,0025 µm (Standardfilter) / 0,3 µm (Dichtungsfilter) |
| Nenn-Durchfluss: | 20 SLPM bis 20.000 SLPM (je nach Typ) |
| Max. Eingangsdruck: | bis zu 21 MPa (210 bar) |
| Max. Differenzdruck: | bis zu 15 MPa (153 bar) |
| Max. Betriebstemperatur: | bis zu 460 °C (bei Inertgas) |
| Oberflächenrauheit: | ≤ Ra 5 µinch (Standard) / < 0,25 µm (Großfilter) |
| Heliumleckrate: | ≤ 1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec |
| Partikelvalidierung: | Keine Partikelabgabe gemäß SEMI F70-0302 |
| Anschlüsse: | Außengewinde, Innengewinde, LOK, Stumpfschweißung, Flansch |
| Größen: | 1/4″, 3/8″, 1/2″, 3/4″, 1″, bis 2″ |
| Sonderausführungen: | Auf Anfrage erhältlich |
- Halbleiterfertigung
- Herstellung von MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme)
- Produktion von Flachbildschirmen
- Herstellung von Photovoltaikzellen
- LED-Produktion
- Forschung & Entwicklung (F&E) für hochreine Gassysteme
- Großgasmengen-Filtration und -Diffusion in kritischen Prozessleitungen