by NOVASEN

Trockenprozesse & UHP
APC-Absperrklappe Eco
Eco Ausführung modularer, leistungsstarker Vakuumregelventile.
INFOS3 bietet ein umfassendes Sortiment an Ersatzteilen für Trockenprozess-Anlagen – etwa von LAM Research – sowie für Ultra-High-Purity-(UHP-)Systeme zur Strömungsregelung und Filtration.
Eco Ausführung modularer, leistungsstarker Vakuumregelventile.
INFOModulares hochleistungs-Vakuumventil, speziell entwickelt für die Halbleiterfertigung.
INFOPräzisions-Filter und -Diffusoren für Halbleitergassysteme
INFOTeile für CVD, Etch, Photo und Semiconductor Anwendungen.
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