By NOVASEN
Supplier Info
Product Type:
Parts & Consumables
Application:
Trockenprozesse & UHP
Product Description:
Präzise Vakuumregelung mit der NOVASEN APC Pendelventil-Serie
Die NOVASEN APC-Pendelventil-Serie bietet fortschrittliche Vakuumregelungslösungen, die für leistungsstarke industrielle Umgebungen entwickelt wurden. Diese Ventile wurden mit Blick auf Flexibilität, Langlebigkeit und präzise Regelung entwickelt und eignen sich ideal für Anwendungen von der Halbleiterfertigung über die Dünnschichtabscheidung bis hin zu Analysegeräten. Dank ihres modularen Aufbaus, der verschiedene Flanschgrößen, Gehäuseoberflächen, Dichtungsoptionen und Kommunikationsschnittstellen unterstützt, lässt sich die APC-Serie nahtlos in neue und bestehende Vakuumsysteme integrieren.
Ob Sie schnelle Reaktionszeiten, Ultrahochvakuumkompatibilität oder robuste Ausfallsicherheitsfunktionen benötigen – das APC-Pendelventil bietet kompromisslose Zuverlässigkeit und Kontrolle.
Wichtige Merkmale
- Präzise Vakuumregelung: Hochauflösende Ventilpositionierung mit exzellenter Regelgenauigkeit
- Ultra-Hochvakuum-tauglich: Leckrate ≤ 1×10⁻⁹ mbar L/s – ideal für anspruchsvolle Vakuumanwendungen
- Großer Druckbereich: Betrieb vom Ultrahochvakuum bis 1,2 bar absolut
- Flexible Konfiguration: Verschiedene Optionen für Flanschgrößen, Dichtungen, Gehäuseoberflächen und Sensorausstattung
- Langlebig und robust: Ausgelegt auf bis zu 2 Millionen Schaltzyklen bis zur Wartung
- Schnelle Reaktionszeit: Typische Schaltzeit ca. 0,3 Sekunden
- Vielfältige Schnittstellen: u. a. RS-232, RS-485, Logik, DeviceNet®, Profibus®, EtherCAT und weitere
- Sichere Betriebsoptionen: PFO- und SPS-Varianten sorgen für sicheren Betrieb bei Stromausfall
- Stabile Konstruktion: Edelstahl- oder Aluminiumgehäuse, optional hartanodisiert oder nickelbeschichtet
- Vielseitige Integration: Geeignet für Halbleitertechnik, Beschichtungsanlagen, F&E und allgemeine Vakuumsysteme
Warum Sie sich für das APC-Pendelventil von NOVASEN entscheiden sollten?
- Individuelle Anpassung: Vollständig konfigurierbar – von Flanschgröße und Oberflächenfinish bis zu Sicherheits- und Kommunikationsoptionen
- Außergewöhnliche Haltbarkeit: Oberflächenveredelungen wie Hartanodisierung oder Nickelschicht erhöhen die Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit
- Betriebssicherheit: Optionen für das Verhalten bei Stromausfall (PFO) gewährleisten sicheres Schalten in kritischen Situationen
- Einfache Systemintegration: Unterstützung zahlreicher Steuerprotokolle (RS-232, RS-485, DeviceNet®, EtherCAT etc.) für nahtlose Kompatibilität
Weitere technische Details
Exakte Abmessungen, verfügbare elektrische Anschlüsse sowie Beispiele zur Regelperformance finden Sie in der Broschüre, die zum Download bereitsteht.
Wir sind da, um Sie zu unterstützen – kontaktieren Sie uns für eine persönliche Beratung.
Zentrale Ausstattungsmerkmale
- Dichtungsarten: wahlweise ohne Dichtung, Standard-Dichtung oder F-Cup-Dichtung
- Flanschgrößen: DN025 bis DN320
- Anschlussstandards: ISO-KF, ISO-F, CF-F
- Gehäusematerial / Oberfläche: Aluminium oder Edelstahl
- Kommunikationsschnittstellen: RS-232/485, Logik, DeviceNet®, Profibus®, Ethernet, CC-Link, EtherCAT
- Stromversorgungsoptionen: Basisversion, mit SPS, mit PFO oder Kombination aus SPS und PFO
- Sensorbestückung: 1 oder 2 Sensoren
- Versionscode: von R00 bis RZZ
Technische Daten:
- Betriebsdruckbereich: vom Ultrahochvakuum (1×10⁻⁸ mbar abs) bis 1,2 bar absolut bei 20 °C
- Leckrate zur Atmosphäre: ≤ 1×10⁻⁹ mbar L/s bei 20 °C
- Lebensdauer: ca. 2.000.000 Schaltzyklen bis zur ersten Wartung (unter sauberen, nicht beheizten Bedingungen)
- Betriebstemperatur: Umgebungstemperatur +10 °C bis +150 °C
- Einbaulage: flexibel – bei Montage an horizontalen ISO-KF-Leitungen muss die Steuereinheit zusätzlich abgestützt werden, um ein Durchhängen zu vermeiden
- Medienberührte Materialien: Gehäuse und Platte aus Edelstahl 304 oder Aluminium 6061; Welle Edelstahl 316L; Schrauben Edelstahl 304; Standarddichtung Viton®; Gleitlager aus iglidur® X
Regelungsleistung
- Regelgenauigkeit: besser als 5 mV oder 0,1 % des Sollwerts (je nach höherem Anspruch)
- Positionsauflösung: 20.000 Schritte über 0–90° bzw. typische Auflösung 8.000 Schritte
- Schaltzeit: typisches Öffnen/Schließen je ~0,3 s (Htc-Quelle < 1,2 s)
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Diese APC-Pendelventile werden typischerweise in industriellen Vakuumsystemen eingesetzt, bei denen ein kontrolliertes Öffnen und Schließen unter unterschiedlichen Vakuumbedingungen entscheidend ist. Sie ermöglichen eine zuverlässige Vakuum-Isolierung oder -Regelung in Prozessen wie Beschichtung, Abscheidung, Halbleiterfertigung oder Vakuumförderung.