By NOVASEN
Supplier Info
Product Type:
Parts & Consumables
Application:
Trockenprozesse & UHP
Product Description:
Die APC-Absperrklappen von NOVASEN sind leistungsstarke Vakuumregelventile, die speziell für den Einsatz in der Halbleiterfertigung und anderen hochpräzisen Anwendungen konzipiert wurden. Sie überzeugen durch hervorragende Regelungsfähigkeiten, eine schnelle Betätigung und flexible Konfigurationsmöglichkeiten.
Die APC Butterfly Valve-Serie von NOVASEN bietet hohe Präzision, Modularität und zuverlässige Leistung für ein breites Spektrum von Vakuum- und Druckanwendungen. Durch den strukturierten Modellaufbau mit verschiedenen Dichtungsarten, Gehäusematerialien und Schnittstellenoptionen ist eine flexible Anpassung möglich. Detaillierte Leistungsdaten gewährleisten eine zuverlässige Regelung auch unter anspruchsvollen Bedingungen. Ausgestattet mit professionellen Softwaretools und einer langen Lebensdauer sind diese Ventile eine zuverlässige Wahl für industrielle Anwendungen und die Vakuumregelung in der Halbleiterfertigung.
Vielseitig konfigurierbar – passend für jede Anwendung
Die APC Butterfly Valve-Serie von NOVASEN bietet hohe Präzision, Modularität und zuverlässige Leistung für ein breites Spektrum von Vakuum- und Druckanwendungen. Durch den strukturierten Modellaufbau mit verschiedenen Dichtungsarten, Gehäusematerialien und Schnittstellenoptionen ist eine flexible Anpassung möglich. Detaillierte Leistungsdaten gewährleisten eine zuverlässige Regelung auch unter anspruchsvollen Bedingungen. Ausgestattet mit professionellen Softwaretools und einer langen Lebensdauer sind diese Ventile eine zuverlässige Wahl für industrielle Anwendungen und die Vakuumregelung in der Halbleiterfertigung.
Die technischen Details, wie die genauen Abmessungen jeder Absperrklappe, die verfügbaren elektrischen Anschlüsse und Beispiele für die Regelungsleistung, finden Sie in der zum Download bereitstehenden Broschüre.
Wichtige Merkmale:
- Dichtungsarten: Optionen wie ohne Dichtung, Standard-Dichtung oder F-Cup-Dichtung
- Flanschgrößen: DN025 bis DN320
- Anschlussstandards: ISO-KF, ISO-F, CF-F
- Gehäusematerial / Oberfläche: wahlweise Aluminium oder Edelstahl
- Kommunikationsschnittstellen: RS-232/422/485, Logik, DeviceNet®, Profibus®, Ethernet, CC-Link, EtherCAT
- Stromversorgungsoptionen: Basisversion, mit ±15 V SPS, PFO oder Kombinationen aus SPS und PFO
- Sensorbestückung: 1 oder 2 Sensoren
- Versionscode: ab R00
Betriebsleistung:
- Regelbereich: vom Ultrahochvakuum (~1×10⁻⁸ mbar) bis zu Überdruck (max. 1,2 bar absolut)
- Dichtheit: externe Leckrate ≤ 1×10⁻⁹ mbar·L/s bei 20 °C
- Regelpräzision: Druckgenauigkeit ±0,1 % oder 5 mV; äußerst feine Positionsauflösung bis zu 20.000 diskrete Schritte
- Schaltgeschwindigkeit: typisches Öffnen und Schließen in ~0,3 s
- Lebensdauer: über 2 Millionen Zyklen unter sauberen, nicht beheizten Bedingungen
Mit minimalem Totvolumen und hoher Leitfähigkeit im geöffneten Zustand unterstützen diese Ventile schnelle Reaktionszeiten und eine präzise Prozesskontrolle.
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- Plasmaätzen (Dry Etching)
- PECVD / LPCVD (Chemical Vapor Deposition)
- PVD (Physical Vapor Deposition)
- ALD (Atomic Layer Deposition)
- Vakuumtrocknung, Evakuierung, Druckregelung
Dies gilt insbesondere für die folgenden Bereiche:
- Vakuumprozessanlagen wie Etching (Ätzen), CVD, PVD, ALD, Lithografie
- Druckregelung in Reaktorkammern zur Erzielung stabiler Prozessbedingungen
- Schnelles Schalten für Batch- oder Stepprozesse
- Kompatibel mit Reinraumanforderungen (Leckrate, Materialien, Kontaminationsarmut)