Product Type:
Equipment
Application:
Deposition
Product Description:
Das Orion Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System produziert Produktionsqualitätsfolien auf einer kompakten Plattform. Das einzigartige Reaktordesign erzeugt Spannungsarme Folien mit hervorragender Schrittabdeckung bei extrem niedrigen Leistungsniveaus. Das System erfüllt alle Sicherheits-, Anlagen- und Prozessanforderungen in der Labor- und Pilotanlage. Das Orion hat viele Standardfunktionen, die normalerweise nicht auf einem System zu einem so günstigen Preis zu finden sind, weshalb viele Anwender weltweit es zu ihrem PECVD-System der Wahl gemacht haben.
Modul
- die HF-Stromversorgung abgeschaltet wird und alle Ventile, die mit der Gaszufuhr zu kämpfen haben, werden automatisch geschlossen und die Maschine schaltet sich in einen sicheren Standby-Modus aus. Dieses System umfasst separate Leistungsregler für die Haupt-AC und Peripheriegeräte.
ORION III
- Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Automatic
Steuerung
- Jedes Trion-System verfügt über ein Schmetterlingsdruckregelventil, das direkt von der Prozesssteuerung press. Dies ermöglicht eine unabhängige Druckregelung, die von allen anderen Verarbeitungsparametern getrennt ist.
Gaslieferung
- Modernste Technologie wird eingesetzt, um höchste Integrität und Reinheit zu gewährleisten.
system
- Jede Reaktionskammer bietet Platz für bis zu acht Massenstromregler und alle Sanitäranlagen nutzen Oberflächenmontage, C-Dichtungstechnologie oder orbital geschweißte VCR-Fittings.
Sicherheit
- Das System erfüllt die Sicherheitsanforderungen von SEMI S2-0310/S8-0308. Das System ist CE-konform mit der Maschinenrichtlinie 98/37/EG, der Niederspannungsrichtlinie 73/23/EWG und der Elektromagnetischen Verträglichkeitsrichtlinie 89/336/EWG für CE-Kennzeichnungsanforderungen. Eine Sicherheitsüberprüfung durch Dritte ist auf Anfrage möglich.
Ausstattung
- Facility-Schemas können auf Anfrage zur Verfügung gestellt werden.
Erweiterte Optionen
Pumpen
- Jede Reaktionskammer benötigt eine eigene Pumpe. Trion kann diese nach Bedarf nach Ihren Anforderungen liefern. Es gibt mechanische, trockene und Turbopumpenoptionen
Verfügbar. Sie können Ihre eigene Pumpe zur Verfügung stellen oder sie können direkt bei Trion gekauft werden. Alle Pumpenoptionen von Trion sind bewährte Systeme
um Ihre spezifischen Prozessanforderungen optimal zu erfüllen.
Temperaturregelung
- Die Bodenelektrodentemperatur kann mit einem Resistiver Heater und einem IR-Thermokoppler von 50°C bis 400°C gesteuert werden.
Triode
- Eine 600Watt, 13,56MHz Top-powered Triode Quelle kann hinzugefügt werden, um Stress Source Control Fähigkeit zu geben.
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MEMS, Solid State Lighting, Failure Analysis, Research & Development, Pilot Line.