Lumina AT2 System

Product Type:

Metrology & Handling

Application:

Optical Surface Inspection

Product Description:

Das Lumina AT2 System ist in der Lage, jede flache Form zu scannen, die kleiner oder gleich 450 mm x 450 mm ist.

• Widerstandsfähig: Kann zerbrechliche und dünne Proben scannen.
• Robust: Die dynamische Strahlverfolgung ermöglicht die Kompensation von Substratkrümmung und -verwerfung. Ein optionales Modul zur Bogenmessung ist ebenfalls erhältlich.
• Effizient: Vollflächiger Scan eines 300-mm-Wafers in 2 Minuten.
• Empfindlichkeit: 200nm PSL-Empfindlichkeit auf Silizium und 300nm PSL-Empfindlichkeit auf Glas.

Lumina arbeitet mit vier Messkanälen. Sie arbeiten gleichzeitig und erzeugen vier separate Bilder. Jeder Kanal hilft bei der Erkennung und Klassifizierung bestimmter Fehler:

• Polarization / Polarisation: Filmdefekte, Flecken
• Reflectivity / Reflektion: Kratzer, innere Spannungen*, Schlieren im Glas*
• Slope / Neigung: Kratzer, Vertiefungen, Unebenheiten, Oberflächentopographie
• Dark Field / Dunkle Bereiche: Nanopartikel, Einschlüsse

*Diese Ergebnisse ergeben sich aus der Reflektivität der Ober- und Unterseite.

Ähnliche Produkte:

• Das Lumina AT1 System ohne Einarmroboter/automatisierter Kassettenhandler für runde 150 und 200 mm Wafer.

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Temperatur: 18 – 30 °C Spannung: 120/230 VAC Stromstärke: 8 A/4 A“ Gewicht: 1058lbs/480 kg Abmessungen: 1037 x 1037 x 2005 mm (40,8 x 40,8 x 79 in.)

file_downloadlumina-instruments-at2-datasheet.pdf

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