Product Type:
Metrology & Handling
Application:
Optical Surface Inspection
Product Description:
Das Lumina AT2 System ist in der Lage, jede flache Form zu scannen, die kleiner oder gleich 450 mm x 450 mm ist.
- Widerstandsfähig: Kann zerbrechliche und dünne Proben scannen.
- Robust: Die dynamische Strahlverfolgung ermöglicht die Kompensation von Substratkrümmung und -verwerfung. Ein optionales Modul zur Bogenmessung ist ebenfalls erhältlich.
- Effizient: Vollflächiger Scan eines 300-mm-Wafers in 2 Minuten.
- Empfindlichkeit: 200nm PSL-Empfindlichkeit auf Silizium und 300nm PSL-Empfindlichkeit auf Glas.
Lumina arbeitet mit vier Messkanälen. Sie arbeiten gleichzeitig und erzeugen vier separate Bilder. Jeder Kanal hilft bei der Erkennung und Klassifizierung bestimmter Fehler:
- Polarization / Polarisation: Filmdefekte, Flecken
- Reflectivity / Reflektion: Kratzer, innere Spannungen*, Schlieren im Glas*
- Slope / Neigung: Kratzer, Vertiefungen, Unebenheiten, Oberflächentopographie
- Dark Field / Dunkle Bereiche: Nanopartikel, Einschlüsse
*Diese Ergebnisse ergeben sich aus der Reflektivität der Ober- und Unterseite.
Ähnliche Produkte:
- Das Lumina AT1 System ohne Einarmroboter/automatisierter Kassettenhandler für runde 150 und 200 mm Wafer.
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