Lumina AT1 System

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By LUMINA Instruments

Supplier Info

Product Type:

Metrology & Handling


Application:

Optical Surface Inspection


Product Description:

Das Lumina AT1 System ist in der Lage, jedes Substrat zu scannen, die kleiner oder gleich 300 mm x 300 mm ist.

  • Widerstandsfähig: Kann zerbrechliche und dünne Proben scannen.
  • Anpassungsfähig: Scannt transparente (Glas), Halbleiter- oder Metallsubstrate.
  • Effizient: Vollflächiges Scannen eines 150-mm-Wafers in 3 Minuten.
  • Empfindlichkeit: 100 nm PSL-Empfindlichkeit auf Silizium, sowie 150 nm PSL-Empfindlichkeit auf Glas.

Lumina arbeitet mit vier Messkanälen. Sie arbeiten gleichzeitig und erzeugen vier separate Bilder. Jeder Kanal hilft bei der Erkennung und Klassifizierung bestimmter Fehler:

Polarization, Reflectivity, Surface Slope, Dark Field

  • Polarization / Polarisation: Filmdefekte, Flecken
  • Reflectivity / Reflektion: Kratzer, innere Spannungen*, Schlieren im Glas*
  • Slope / Neigung: Kratzer, Vertiefungen, Unebenheiten, Oberflächentopographie
  • Dark Field / Dunkle Bereiche: Nanopartikel, Einschlüsse

*Diese Ergebnisse ergeben sich aus der Reflektivität der Ober- und Unterseite.

 

 

Ähnliche Produkte:

  • Das Lumina AT2 System ist in der Lage, jede flache Form zu scannen, die kleiner oder gleich 450 mm x 450 mm ist.


 

  • Temperatur: 18 – 30 °C
  • Spannung: 120/230 VAC
  • Stromstärke: 6 A/4 A
  • Gewicht: 815 lbs/370 kg
  • Abmessungen: 880 x 2005 x 743 mm
    (34,6 x 79 x 29,2 in.)
Dimensions of the Lumina AT1 System

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