Product Type:
Equipment
Application:
Etching
Product Description:
Die Kosten für neue Stripping-Systeme sind in unzumutbare Höhen gestiegen. Für dieses Problem hat Trion eine Lüsung
Der Trion Atlas Stripper ist ein kompaktes, kostengünstiges und vielseitiges System, das mit einen 200mm oder 300mm Chuck ausgerüstet werden kann. Durch den Einsatz von RF-Bias-Power können wiederstandsfähige Lackschichten bei niedrigen Temperaturen entfernt werden. Je nach Anwendung kann dieses System mit einer Mikrowellenquelle (die sowohl sehr zuverlässig als auch frei von typischen Mikrowellen-Tuning-Problemen ist) oder einer ICP-Technologie ausgestattet werden.
- Ätzraten bis zu 6um/min
- Hoher Durchsatz
- Geringe Plasmaschädigung
- Automatisches Tuning
- 100mm bis 300mm Wafer
- kompakte Bauform
- wettbewerbsfähiges Pricing
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MEMS, Compound Semiconductor, Pilot Line Production.