Product Type:
Parts & Consumables
Application:
Wipers
Product Description:
Mikrofasertuch, mit hochreinem Wasser vorgetränkt
- MiraSAT™ ist das erste mit 100 % Reinstwasser vorgesättigte Reinraumtuch, dass für die Reduzierung von VOC-Emmissionen in modernen Fertigungsstätten für Wafer entwickelt wurde.
- Mit MiraSAT™ ist es nun möglich, eine IPA-ähnliche Reinigungseffizienz zu erreichen, ohne die Kosten und Sicherheitsbedenken bei der Verwendung brennbarer Lösungsmittel.
- MiraSAT™ bietet eine kompromisslose Lösung für die Reinigung von Reinräumen/EH&S.
- Die Mikrofaserkonstruktion mit einem einzigartigen gewebten Muster ermöglicht es Technikern, Verunreinigungen zu lösen, einzuschließen und zu entfernen, während kritische Oberflächen sauber und trocken bleiben. Das Gewebe und die hochfeste, versiegelte Kante bieten eine unübertroffene Abrieb- und Reißfestigkeit, um die Entstehung von Partikeln und Fasern während des Gebrauchs zu reduzieren. Hergestellt und verarbeitet für Reinraumumgebungen nach ISO 3 und höher. Jede Packung ist doppelt verpackt, um den Vorgaben entsprechend in den Reinraum eingebracht werden zu können.
HT5790S-EHS
Material: MicrofiberSize: 9″ x 9″ Seal: Wide Sealed Edge
Solution: 100% Ultrapure Water
MiraSAT™ Microfiber Sealed Edge Cleanroom Wiper presaturated with 100% Ultrapure Water. Each pack is double bagged to aid cleanroom entry protocols.
file_downloadmirasat-wipers-datasheet-rev3.pdf
- For use in ISO Class 3 and higher cleanrooms.
- Cleaning of hi-vac process chambers and robotics in flat panel display and wafer fabs.
- Cleaning VOC sensitive process equipment in lithography, CVD and metrology modules.
- Cleaning baked on resist and developer from lithography tracks.
- Final wipedown of sensitive components such as EFEM’s, electrostatic chucks, VAT valves and gas dispersion plates.
- Equipment PM’s and wetcleans where the elimination of VOC’s and flammable solvents are required.
- Protects VOC sensitive fab modules such as lithography, metrology and CVD from solvent fumes.
- Industry leading abrasion resistant fabric reduces risks of fiber and particle excursions associated with fab wipers.
- Woven microfiber fabric enables improved contamination pickup leading to faster PM’s and improved equipment uptime.
- Even, consistent wetting of wiper enables excellent first pass cleaning results and reduced cleaning time.
- Foamtec’s state of the art processing facilities produces a wiper optimized for use in the most advanced wafer fabs.