Ionen Sputter Coater G20

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By GSEM

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Product Type:

Metrology & Handling


Application:

Scanning Electron Microscope


Product Description:

Der Sputter Coater G20 ist ein vollautomatisches Coating-Tool zur Probenpräparation in der Elektronenmikroskopie.
Die getrocknete Probe wird mit einem feinkörnigen, dünnen Metallfilm überzogen. Als Target kann Gold oder Aluminium verwendet werden.

  • einfache Bedienung mittels intuitivem 7″ Touchscreen
  • vollautomatischer Betrieb, kein Eingreifen nötig.
  • Speicherung der Coating-Parameter in max. 10 Recipes
  • es können max. 7 Proben gleichzeitig verarbeitet werden
  • der niedrige Strom (1 x 10 mA) verhindert Schäden an Ihren Proben
  • kompakte Bauweise, geringer Platzbedarf
  • sehr hohe Uniformity der Beschichtung, sichergestellt durch Pirani Gauge


Vacuum Degree 2.0 x 10-2torr
Ion Current 1 to 10mA (1mA/step)
Target Material Au or Pt
Chamber Size Φ140mm(D) x 100mm(H)
Sample Stage Φ50mm(D) x 30mm(H)
Target Size Φ50mm(D) x 0.1(T)
Sputter Time 1 to 600sec (1sec/step)
Vacuum Pump 100L/min, Rotary Pump (Recommended)
Dimension 380(W)x 240(L) x 250(H)mm, 10kg

● Metal thin film coating on the surface of nonconductive and slightly conductive specimens
● Metal thin film deposition such as Au and Pt by sputtering deposition method
● Micro structure Analysis or Failure Analysis(Broken Sections) (Materials and products such as semiconductor parts, ceramics, metals, powder, etc)


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