SAM- CYGNUS Oberflächenakustikmikroskop für LED, Saphir-Wafer

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Product Type:

Metrology & Handling


Application:

Wafer Dimensional Metrology


Product Description:

  • Wafer Transfer Robot ist installiert, da dies das Instrument zum Testen von Wafern ist
  • Wafer Map, BCR Reader, Wafer Pre Aligner, Spin Coater System sind installiert
  • Hohe Leistung, hohe Geschwindigkeit und präzises Scansystem
  • Wasserstrahl-Scansystem
  • Fehlererkennung durch automatischen Scan der installierten Sonde 3-Achsen-Scanner
  • Signallampe und Sicherheitssensor


1. Ultraschall-Pulser/Empfänger
  • Frequenzbereich : 1 – 500MHz
  • Geräuscharmer, leistungsstarker Pulser/Empfänger leitet das Ultraschallsignal von Ultra-Breitband-Eigenschaften vom Geber ab.
2. A/D-Wandler
  • Echtzeit 2GHz Abtastrate

3. Wafer Transfer Roboter

  • 4″-6″-Wafer
  • R-Achse 470mm
  • Z-Achse 200mm Hub
  • Wiederholgenauigkeit 0,05 mm
  • 1Kg Tragfähigkeit
4. Allgemeines
  • Scanbereich 4″ x 6″
  • Wiederholgenauigkeit +/-0.002 mm
  • Haupteinheit Größe 1800mm X 1100mm X 1400mm
  • Gewicht ca. 750kg
  • Leistung AC220V / 30A (1Phase)

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Detection of defect by Sapphire wafers for LED applications


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