IPEC 472 Automatisiertes CMP-System

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By AXUS

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Product Type:

Equipment


Application:

CMP


Product Description:

Die AXUS-Technologie ist spezialisiert auf die Wiederherstellung von CMP, Wafer Grinding & Wafer Cleaning Equipments sowie die Lieferung von Upgrades und Ersatzteilen. Der Wafer-Polierer IPEC 472 ist ein vollautomatisches Präzisionswerkzeug zum CMP-Polieren von Halbleiterwafern, mit dem Flachheit, Gleichmäßigkeit und Planarisierung auf gemusterten/Gerätewafern erreicht werden. Der 472 verfügt über eine automatische Waferhandhabung und ist in der Lage, zweistufige Polierbearbeitungen zu ermöglichen, um die Durchsatzfähigkeit und Qualität von Wafern zu maximieren. Der 472 wurde für die Planung von Wafern von 100 mm bis 200 mm entwickelt und eignet sich ideal für Materialien polierende Anwendungen, die Wiederholbarkeit mit Betriebs- und Verarbeitungsflexibilität erfordern. Nur Axus Technology ist berechtigt, ViPRR-Träger-Upgrades für überholte IPEC 372M- und 472 CMP-Tools bereitzustellen. Der IPEC 472 unterstützt eine Reihe von Conditioner- und Carrier-Upgrades.


Standard-Funktionen enthalten: IPEC-472
  • Vollautomatisches Präzisionspolieren
  • Zwei Platten-Prozess für Post-Pol-Buff
  • Mehrfache Gülleabgabe
  • In-situ-Pad-Conditioner
  • Materialverträglichkeit für mittlere und niedrige ph-Schlämme (1-12)
  • Nach unten Kraft bis zu 750lbs.
  • Steuerbarer Wafer-Gegendruck
  • Polnischer Kopf saubere Station
  • Externe Schnittstelle für Endpunktfähigkeit
  • Temperaturgeregelte Platten
Optionale Funktionen
  • Multizone ViPRR Carrier Upgrade
  • SECS II-Schnittstelle
Wir empfehlen jedem unserer Kunden, eine Vor-Ort-Inspektion des Werkzeugs durchzuführen, bei der er die Details der durchgeführten Arbeit überprüfen, eine abschließende Betriebsüberprüfung der Ausrüstung durchführen und an der abschließenden Prüfung des Werkzeugs teilnehmen kann.

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https://vimeo.com/63371340

https://vimeo.com/7346087

Production-proven for oxide, shallow trench isolation (STI), polysilicon, tungsten, and copper planarization applications


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